第五卷 资 料 - 第45页
2-13 传感器及负载配置图 5OM-1752 1306-002 安装头部布局 ( 安装头上下部 ) M33 B071 1 Symbol Name Symbol Name M33 Head U/D (HL) Motor B071 1 Head U/D (-) Limit
2-12
传感器及负载配置图
5OM-1752
1306-002
安装头部布局 ( 吸嘴上下部 )
B0503
M34
Symbol Name Symbol Name
M34 Nozzle U/D (NL) Motor
B0503 Interlock Sensor
2-13
传感器及负载配置图
5OM-1752
1306-002
安装头部布局 ( 安装头上下部 )
M33
B0711
Symbol Name Symbol Name
M33 Head U/D (HL) Motor
B0711 Head U/D (-) Limit
2-14
传感器及负载配置图
5OM-1752
1306-002
吸嘴储料器部布局
B_CMP1
B_DWN1
B_SH1
Y_OP1
Y_SH
Symbol Name Symbol Name
Y_SH Nozzle Stocker 2 Shutter Open/Close 1
Y_UP1 High-speed Nozzle Stocker 2 Ascending 1
B_DWN1
High-speed Nozzle Stocker 2 Unit Lower Limit Detection 1
B_SH1
High-speed Nozzle Stocker 2 Shutter Close Check 1
B_CMP1 High-speed Nozzle Stocker 2 Clamp Check 1