第五卷 资 料 - 第53页
5OM-1752 1305-001 3-A 第三章 元件配置图 本章节记载了各部的布局等。 因含有一定的难度，参考时请充分注意。
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传感器及负载配置图
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1306-002
B_DWN1
B_SH1
Y_UP1
Y_SH
B_CMP1
B1611
Symbol Name Symbol Name
Y_SH Nozzle Stocker 2 Shutter Open/Close 1
Y_UP1
Multi Function Nozzle Stocker 2 Ascending 1
B_DWN1 Multi Function Nozzle Stocker 2
Unit Lower Limit Detection 1
B_SH1 Multi Function Nozzle Stocker 2
Shutter Close Check 1
B_CMP1
Multi Function Nozzle Stocker 2 Clamp Check 1
B_1611
Multi Function Nozzle Stocker 2
Setup Error Detection
多功能吸嘴储料器部布局
5OM-1752
1305-001 3-A
第三章
元件配置图
本章节记载了各部的布局等。
因含有一定的难度，参考时请充分注意。
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1305-001 3-B