第五卷 资 料 - 第73页
3-19 元件配置图 5OM-1752 1306-002 侧面面板前 内侧 K10 K28 K29 Q205 Q206(30A) Q221(30A) TB:AC2 Symbol Name Remarks Q205 CirCuit Protecter V acuum pump Q206 CirCuit Protecter Q221 CirCuit Protecter K29 EM-CONT ACTOR V acuum pump Power…
3-18
元件配置图
5OM-1752
侧面 A
1306-002
3-19
元件配置图
5OM-1752
1306-002
侧面面板前 内侧
K10
K28
K29
Q205
Q206(30A)
Q221(30A)
TB:AC2
Symbol Name Remarks
Q205 CirCuit Protecter Vacuum pump
Q206 CirCuit Protecter
Q221 CirCuit Protecter
K29 EM-CONTACTOR Vacuum pump Power Suppry
K28 EM-CONTACTOR CPU Power Suppry
K10 EM-CONTACTOR G2 Power Suppry
3-20
元件配置图
5OM-1752
1306-002
侧面面板前 外侧
TB : AC1
F200
Symbol Name Remarks
F200 Lightning Surge Protecter