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7 Tg 1404 -ID-SO 0704-001 3.1 “バックアップピン座標教示”タブシート [3] [ カメラ移動操作 ] ボタン 現在表示されているタブシートの中に、 “カメラ移動操作”画面 が表示されます。 詳細については、 “3.2.3 カメラの移動操作”を参照してください。 [4] [ ピン座標登録 ] ボタン “3.2.3 カメラの移動操作”で指定した座標に、基板バックアッ プピンの座標を登録します。 [5] [ 登録…
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3. バックアップピン座標教示
3. バックアップピン座標教示
3.1 “バックアップピン座標教示”タブシート
“装置メンテナンス”メニューバーで“ティーチング”サブメニュー
の“バックアップピン座標教示”タブを押すと、以下のタブシート
が表示されます。
[8]
[9]
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[10]
[11]
Fig. 1 “バックアップピン座標教示”タブシート
[1] [ 基板位置決め ( 始動 )] ボタン
基板を取り込み、位置決めを行います。
[2] [ 基板無設定 ( 始動 )] ボタン
セットされている基板バックアップピンの座標を教示する場合
に使用します。
詳細については、“3.3 セット済みの基板バックアップピンのティー
チング”を参照してください。
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3.1 “バックアップピン座標教示”タブシート
[3] [ カメラ移動操作 ] ボタン
現在表示されているタブシートの中に、“カメラ移動操作”画面
が表示されます。
詳細については、“3.2.3 カメラの移動操作”を参照してください。
[4] [ ピン座標登録 ] ボタン
“3.2.3 カメラの移動操作”で指定した座標に、基板バックアッ
プピンの座標を登録します。
[5] [ 登録済み位置へ移動 ( 始動 )] ボタン
“ピン番号”で選択している基板バックアップピンの教示位置に
カメラを移動します。
[6] [1 データ削除 ] ボタン
“ピン番号”で選択している基板バックアップピンの教示位置を
削除します。
[7] [ ユニット復帰 ( 始動 )] ボタン
各ユニットの原点復帰を行います。
[8] バックアッププレート
パターンプログラムで選択されているバックアッププレートを
表示します。
[9] ピン番号
選択している基板バックアップピンの番号を表示します。
[+] ボタンおよび [-] ボタンを押して、ピン番号を 1 つずつ増減
します。
[10] “基板モデル”画面
基板バックアップピンの登録位置およびカメラ座標を表示しま
す。
[11] [ データ保存 ] ボタン
設定した基板バックアップピンの登録位置を、カレント機種の
パターンプログラムに保存します。
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3.2 生基板からのティーチング手順
基板認識カメラを基板上で移動させ、カメラ画像から、基板バック
アップピンがセット可能な位置を教示します。
3.2.1 データの準備
バックアッププレートの種類を選択します。
手順
(1) パターンプログラム編集画面で“オペレーションデータ”
タブの“基板保持”タブを押します。
(2) “チャックステージ選択”で“バックアップピン”を選択
します。
(3) “バックアッププレート選択”で、使用するプレートの種
類を選択します。
マグネット
挿し込み式 (M) : 336 × 250
挿し込み式 (S) : 256 × 200
Fig. 2 “基板保持”タブシート
3.2 生基板からのティーチング手順