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29 Tg 1404 -ID-SO 9. 資 料 9. 資 料 9.1 電気回路図 スキージヘッド I / O 部分が、本特別仕様です。 ノート 0704-001 -(M 748 WF A-A 0005 )

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8. トラブルシューティング
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8. トラブルシューティング
異常 ID と復帰方法
Table 3
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
2501000 バックアップピン段取り
指定位置にピンが立っていません
( 要因 1) 基板バックアップピンが登録した位置に立っていません。
( 要因 2) 基板バックアップピンが登録した位置の許容量よりずれています。
( 復帰方法 1) 登録した位置に基板バックアップピンを立ててください。
( 復帰方法 2) 位置ずれ許容量内に基板バックアップピンを立ててください。
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9. 資 料
9. 資 料
9.1 電気回路図
スキージヘッド I / O
部分が、本特別仕様です。
ノート
0704-001
-(M748WFA-A0005)
不許複製
2007 4 初版発行
編集および発行所
0704-001
Tg1404-ID-SO