GDS设备用户手册 - 第21页
第三章 维 护 与保养 图 3-13 CCD-Y 导轨 图 3-14 CCD-X 导轨 3.4.5 气路系 统 1 ．检查各气管路连接良好，特别是用于清洗液运输的管路。 2 ．在机器开始工作前打开机器前下部气动元件柜门； 1 ）检查空气过滤器是否正常工作。 2 ）检查各气动元件及管路有无漏气现象； 3 ）按照气路原理图检查并调整压力表上的压力，使压力符合要求。 气路总压力： 6Kgf/cm 2 刮刀压力： 0~10 Kgf/cm…
第三章 维护与保养
图 3-10 浮动结构中间压板
图 3-11 小平台与动导轨清洁润滑 图 3-12 运输传送带紧张
3.4.4 CCD 和 X 横梁
3.4.4.1 Camera Drive Y
检查 Camera Drive Y 向丝杆与导轨使用情况，并进行清洁润滑。
3.4.4.2 Camera Drive X
1．检查 Camera Drive X 向丝杆与导轨使用情况，并进行清洁润滑。
2．检查分光棱镜盒的光学玻璃是否有脏污，用不起毛的棉布沾少量酒精
擦拭干净。
3．检查挡板气缸是否有磨损漏气，磁性工关是否灵敏正常。
4．对各电眼进行清洁。
3．有必要时，对 CCD 光轴进行较正。
4．CCD 横梁进行全面的清洁。
工作平台
定导轨中间压板
微调结构
上下导向导轨
丝杆与导轨
小平台导轨
步进电机
进出板电眼
张紧轮
(调节螺钉）
第三章 维护与保养
图 3-13 CCD-Y 导轨
图 3-14 CCD-X 导轨
3.4.5 气路系统
1．检查各气管路连接良好，特别是用于清洗液运输的管路。
2．在机器开始工作前打开机器前下部气动元件柜门；
1）检查空气过滤器是否正常工作。
2）检查各气动元件及管路有无漏气现象；
3）按照气路原理图检查并调整压力表上的压力，使压力符合要求。
气路总压力：6Kgf/cm
2
刮刀压力：0~10 Kgf/cm
2
网框夹紧压力：5 Kgf/cm
2
真空吸压力：
4 Kgf/cm
2
刮刀导轨
CCD-Y 导轨
CCD-Y 丝杆
CCD-X 导轨
各电眼
挡板与磁性开关
CCD-X 丝杆
CCD 分光棱镜盒
第三章 维护与保养
图 3-15 电气控制箱图 3-16 气动三联体(带压力开关)
3.4.6 不同用途，所推荐用油或油脂
用途
产品名称
制造商
一般用途
Alvania Grease No.2
Showa Shell Sekiyu
Mobilux No.2
Mobil Sekiyu
Daphny Coronex Green No.2
Ldemitsu Kosan
用于低温
Multemp PS No.2
Kyodo Yushi
用于温度范围很宽
Multemp LRL3
Kyodo Yushi
注：隆成 使用的油脂为 Shell Grease EP No.2
3.4.7 丝杆,导轨的清洗与润滑
3.4.7.1 丝杆的清洗与润滑
1． 在滚珠丝杆运行了 2 到 3 个月后检查润滑效果是否良好。如
果润滑油脂非常脏，请用干净干燥的不起毛的棉布擦去油
脂。通常每年都应该检查和更换润滑油脂。
2． 考虑到灰尘的积累，在机械安装过程中外部物质有可能进入
和工作，要将润滑油脂加在单独密封的螺母里。除非特殊情
况，否则不要将润滑油脂直接加在丝杆上。
根据丝杆的尺寸和长度，判断在螺母里的润滑油脂的量是否
足够。移动螺母，检查与螺母接触过的丝杆沟槽里有润滑油
脂是否足够，如不够则及时添加。
3.4.7.2 导轨的清洗与润滑
在导轨运行了 2 到 3 个月后检查润滑效果是否良好。如果润滑油脂非常