YSM40_Mainte_K - 第118页

3-49 3 6 반 송 부 를 청소합 니다 . 컨베 이어프레 임 과기판가이 드의틈새 를가는브 러시 ,또는와이퍼 로청 소해주십 시 오 . 7 벨 트를 원상태 로 되돌립니다 . 1 . 벨 트 를텐션풀리 에임 시 로걸 어둡니 다 . 2. 선 단의풀리 에벨 트 를걸 어서 ,풀리샤프트로 고정합 니다 . 3. 커 플링 을원 위 치 로해서고 정 합니 다 .…

100%1 / 160
3-48
3
5.4 컨베이어 반송부
5.4.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드의 청소
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를
비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
4. 사각건을푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
기판클램프 보드를 분리합니다 .
육각렌치 (2.5) 로기판클램프보드고정볼트 ( 우
측그림의4 군데 ) 를빼서기판클램프보드를떼
어내주십시오 .
57339 - N5-00
c
주의
우측그림의볼트4 개이외는풀거나빼지마십시오 .
3
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 육각렌치2 개로텐션풀리를풀어서 ,긴구멍
의끝까지 ( 푸는방향 )이동시켜주십시오 .
풀리측 :5mm
고정측 :4mm
2. 일자드라이버로풀리샤프트를풀어서풀리를
분리해주십시오 .
57340 - N5 - 00
c
주의
와셔를분실하지않도록주의해주십시오 .
4
벨트 구동용 풀리와 샤프트를 분리시킵
니다 .
1. 육각렌치 (2.5) 로커플링부의볼트를느슨하게
합니다 .
2. 풀리로부터커플링을화살표방향으로밀어
서 ,벨트를뺄수있는틈새를만듭니다 .
57341-N5- 0 0
5
컨베이어로부터 벨트를 분리합니다 .
분리한벨트에균열이나마모된부분이없는지확
인해주십시오 .
n
요점
균열이나 마모가 심할 경우는 , 새 벨트로 교환해 주십시오 .
기판 클램프 보드의 분리
Step 2
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드 고정볼트
벨트를 느슨하게 한다
Step 3
육각렌치(4)
육각렌치(5)
텐션 풀리
와셔
풀리 샤프트
커플링 풀기
Step 4
이 틈새로부터 벨트를
뺀다
커플링
3-49
3
6
반송부를 청소합니다 .
컨베이어프레임과기판가이드의틈새를가는브
러시 ,또는와이퍼로청소해주십시오 .
7
벨트를 원상태로 되돌립니다 .
1. 벨트를텐션풀리에임시로걸어둡니다 .
2. 선단의풀리에벨트를걸어서 ,풀리샤프트로
고정합니다 .
3. 커플링을원위치로해서고정합니다 .
4. 벨트텐셔너를이동해서텐션을걸면서볼트를
조입니다 .
레인 1 :260~320Hz
레인 2 :180~220Hz
57342 - N5 - 00
c
주의
벨트텐셔너 ( 풀리 ) 의체결토르크는반드시5.5N
•
m 로설
정해주십시오 .
8
기판 클램프 보드를 장착합니다 .
기판클램프보드를원위치에세팅하고 ,우측그
림의화살표부분 (1 개의플레이트에2 군데 ) 을
위로대면서기판클램프보드의고정볼트를조여
주십시오 .
573 43- N5-00
기판 클램프 보드의 장착
Step 8
텐션측정 장소
Step 7
텐션측정 장소
(각 레일 바깥쪽)
3-50
3
5.5 W 축부
5.5.1 W 축 볼스크류의 청소
•
급유
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
2
레인 1 의 컨베이어 폭을 최대로 합니
다.
1. 비상정지상태를해제하고[ 장치 ] 버튼을
눌러서축이동으로레인 1 의컨베이어폭을
최대로넗혀주십시오 .
2. 푸쉬업플레이트를내립니다 .
3
푸쉬업 플레이트를 분리합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누릅니다 .
2. 육각렌치 (4) 로푸쉬업플레이트를고정하고
있는볼트 (4 군데 ) 를빼고 ,푸쉬업플레이트
를분리해주십시오 .
5734 6 - N5 - 00
w
경고
푸쉬업 플레이트는 무게가 있으므로 , 취급하실 때는 다치
지 않도록 주의해 주십시오 .
4
볼스크류부를 청소합니다 .
볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 크린룸용 )등으로오래된구리스나더러움을
제거합니다 .
57347- N5- 0 0
c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗하게닦아
주십시오 .또한 ,이물질의부착여부도확인해주십시오 .
5
구리스를 도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서볼스크류의표
면및리드홈부분에균일하게도포해주십시오 .
57348-N5-00
6
푸쉬업 플레이트를 원상태로 장착합니
다.
n
요점
레인 2 에 관해서도 레인 1 과 같은 식으로 청소하고 구리스
를 도포해 주십시오 .
푸쉬업 플레이트의 분리
Step 3
푸쉬업 플레이트
고정볼트(4군데)
푸쉬업 플레이트
볼스크류의 청소
Step 4
종이 와이퍼
볼스크류
구리스의 도포
Step 5
균일하게 도포
구리스