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3-50 3 5.5 W 축 부 5 .5 . 1 W 축 볼 스 크 류 의 청소 • 급유 e 1 작 업 준비를 합 니다 . 1 . 손목 시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영 향을받 는물건 은전 부빼둡니 다 . 2. 「EMER GENCYSTOP 」버튼 을눌러서장비 를비상정 지상태 로합니다 . 3. 대 차클램 프스위 치 로대 차를내려서탈 착합니 다. 2 레인 …

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6
반송부를 청소합니다 .
컨베이어프레임과기판가이드의틈새를가는브
러시 ,또는와이퍼로청소해주십시오 .
7
벨트를 원상태로 되돌립니다 .
1. 벨트를텐션풀리에임시로걸어둡니다 .
2. 선단의풀리에벨트를걸어서 ,풀리샤프트로
고정합니다 .
3. 커플링을원위치로해서고정합니다 .
4. 벨트텐셔너를이동해서텐션을걸면서볼트를
조입니다 .
레인 1 :260~320Hz
레인 2 :180~220Hz
57342 - N5 - 00
c
주의
벨트텐셔너 ( 풀리 ) 의체결토르크는반드시5.5N
•
m 로설
정해주십시오 .
8
기판 클램프 보드를 장착합니다 .
기판클램프보드를원위치에세팅하고 ,우측그
림의화살표부분 (1 개의플레이트에2 군데 ) 을
위로대면서기판클램프보드의고정볼트를조여
주십시오 .
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기판 클램프 보드의 장착
Step 8
텐션측정 장소
Step 7
텐션측정 장소
(각 레일 바깥쪽)
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3
5.5 W 축부
5.5.1 W 축 볼스크류의 청소
•
급유
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
2
레인 1 의 컨베이어 폭을 최대로 합니
다.
1. 비상정지상태를해제하고[ 장치 ] 버튼을
눌러서축이동으로레인 1 의컨베이어폭을
최대로넗혀주십시오 .
2. 푸쉬업플레이트를내립니다 .
3
푸쉬업 플레이트를 분리합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누릅니다 .
2. 육각렌치 (4) 로푸쉬업플레이트를고정하고
있는볼트 (4 군데 ) 를빼고 ,푸쉬업플레이트
를분리해주십시오 .
5734 6 - N5 - 00
w
경고
푸쉬업 플레이트는 무게가 있으므로 , 취급하실 때는 다치
지 않도록 주의해 주십시오 .
4
볼스크류부를 청소합니다 .
볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 크린룸용 )등으로오래된구리스나더러움을
제거합니다 .
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c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗하게닦아
주십시오 .또한 ,이물질의부착여부도확인해주십시오 .
5
구리스를 도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서볼스크류의표
면및리드홈부분에균일하게도포해주십시오 .
57348-N5-00
6
푸쉬업 플레이트를 원상태로 장착합니
다.
n
요점
레인 2 에 관해서도 레인 1 과 같은 식으로 청소하고 구리스
를 도포해 주십시오 .
푸쉬업 플레이트의 분리
Step 3
푸쉬업 플레이트
고정볼트(4군데)
푸쉬업 플레이트
볼스크류의 청소
Step 4
종이 와이퍼
볼스크류
구리스의 도포
Step 5
균일하게 도포
구리스
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3
5.5.2 W 축 가이드의 청소
•
급유
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
2
레인 1 의 컨베이어 폭을 최대로 합니
다.
1. 비상정지상태를해제하고[ 장치 ] 버튼을
눌러서축이동으로레인 1 의컨베이어폭을
최대로넗혀주십시오 .
2. 푸쉬업플레이트를내립니다 .
3
푸쉬업 플레이트를 분리합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누릅니다 .
2. 육각렌치 (4) 로푸쉬업플레이트를고정하고
있는볼트 (4 군데 ) 를빼고 ,푸쉬업플레이트
를분리해주십시오 .
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w
경고
푸쉬업 플레이트는 무게가 있으므로 , 취급하실 때는 다치
지 않도록 주의해 주십시오 .
4
가이드부를 청소합니다 .
가이드전체를먼지가나지않는종이와이퍼 ( 크
린룸용 ) 로오래된구리스나더러움을제거합니
다.
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5
구리스를 주입합니다 .
구리스건 (30 도굽은타입 ) 을사용해서 ,W 축
가이드용구리스니플로부터지정구리스 (NSL)
를주입해주십시오 .
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푸쉬업 플레이트를 원상태로 장착합니
다.
n
요점
레인 2 에 관해서도 레인 1 과 같은 식으로 청소하고 구리스
를 도포해 주십시오 .
푸쉬업 플레이트의 분리
Step 3
푸쉬업 플레이트
고정볼트(4군데)
푸쉬업 플레이트
가이드의 청소
Step 4
종이 와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 5
구리스 니플
구리스 건
(30도 굽은타입 노즐)