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3-53 3 5.6 P U 축 5 . 6. 1 PU 축 볼 스 크 류 의 청소 • 급유 e 1 작 업 준비를 합 니다 . 1 . 손목 시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영 향을받 는물건 은전 부빼둡니 다 . 2. 「EMER GENCYSTOP 」버튼 을눌러서장비 를비상정 지상태 로합니다 . 3. 대 차클램 프스위 치 로대 차를내려서탈 착합니 다. 2 레인…

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3-52
3
5.5.3 6 각 스플라인의 청소
•
급유
컨베이어 입구 및 출구의 6 각 스플라인 청소방법과 급유에 대해서 설명합니다 . 급유개소와 급유형태에
관해서는 , 제 5 장「급유개소 일람」을 참조해 주십시오 . 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
2
6 각 스플라인부를 청소합니다 .
1. 비상정지상태를해제하고 ,수동조작으로
기판폭을최대로설정합니다 .
e
2. 비상정지상태에서 ,6 각스플라인전체를먼
지가발생하지않는종이와이퍼 ( 크린룸용 )
등으로오래된구리스나더러움을제거합니다.
3. 비상정지를해제하고기판폭을좁힌후 ,재차
비상정지상태로해서남은다른부분의오래
된구리스나더러움도제거합니다 .
57344 - N5 - 0 0
3
구리스를 도포합니다 .
손으로지정구리스 (NSL) 를묻혀서6 각스플라
인의표면에균일하게도포해주십시오 .
n
요점
Step2 와 같은 식으로 기판폭을 조정해서 6 각 스플라인
전체를 균일하게 도포해 주십시오 .
57345-N5-00
6각 스플라인의 청소
Step 2
종이 와이퍼
6각 스플라인
구리스의 도포
Step 3
엷고 균일하게 도포한다
구리스
3-53
3
5.6 PU 축
5.6.1 PU 축 볼스크류의 청소
•
급유
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받
는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비
를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니
다.
2
레인 1 의 컨베이어 폭을 최대로 합니
다.
1. 비상정지상태를해제하고[ 장치 ] 버튼을
눌러서축이동으로레인 1 의컨베이어폭을
최대로넗혀주십시오 .
2. 푸쉬업플레이트를내립니다 .
3
푸쉬업 플레이트를 분리합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누릅니다 .
2. 육각렌치 (4) 로푸쉬업플레이트를고정하고
있는볼트 (4 군데 ) 를빼고 ,푸쉬업플레이트
를분리해주십시오 .( 스테이지 1 과2)
3. 비상정지상태를해제하고 ,[ 장치 ] 버튼을
눌러서축이동으로PU 축을최대로올립니다 .
5734 6 - N5 - 00
w
경고
푸쉬업 플레이트는 무게가 있으므로 , 취급하실 때는 다치
지 않도록 주의해 주십시오 .
4
PU 축 볼스크류부를 청소합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누릅니다 .
2. 볼스크류전체를클린륨용종이와이퍼등으
로오래된구리스나더러움을제거합니다 .
57351-N5 - 00
c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗하게닦아
주십시오 .또한 ,이물질의부착여부도확인해주십시오 .
5
구리스를 도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서볼스크류의
표면및리드의홈부분에균일하게도포합니다 .
57352- N5-0 0
6
푸쉬업 플레이트를 원상태로 합니다 .
e
1. 비상정지상태를해제하고 ,푸쉬업유니트를
하강시킵니다 .
2. 재차비상정지상태에서 ,푸쉬업플레이트를
원상태로장착해주십시오 .( 스테이지1 과2)
참고
레인 2 의 PU 축 볼스크류도 같은식으로 실시해 주십시오 .
푸쉬업 플레이트의 분리
Step 3
푸쉬업 플레이트
고정볼트(4군데)
푸쉬업 플레이트
볼스크류의 청소
Step 4
와이퍼
볼스크류
구리스의 도포
Step 5
구리스
3-54
3
5.7 컨트롤러부
5.7.1 필터의 청소
청소할 필터는 2 종류이며 , 하기의 3 군데에 설치되어 있습니다 .
시스템 컨트롤러용 : 장비의 배면 중앙에 1 군데
서보 컨트롤러용 : 정면 우측에 1 군데 , 배면 우측에 1 군데
1
대차를 탈착합니다 .
안전을 위해 , 장비의 전원을 차단시키고 대차를
탈착해 주십시오 .
2
프론트 커버와 덕트를 분리합니다 .
제 1 장「2.1 테이프 커터부 덕트의 분리」를 참조
해서 프론트 커버와 덕트를 분리해 주십시오 .
n
요점
우측 그림은 배면의 예입니다 . 정면의 프론트 커버와 덕트
는 분리할 필요가 없습니다 .
3
커버를 분리합니다 .
우측 그림과 같이 장비배면 중앙의 커버와 우측의
커버를 분리해 주십시오 .
573 53-N5-00
4
필터부를 탈거합니다 .
십자 드라이버로 필터부를 고정하고 있는 나사를
풀어서 빼 주십시오 .
57354- N5 - 0 0
5
필터를 청소합니다 .
청소기 또는 버큠 툴로 필터의 먼지를 제거해 주십
시오 .
n
요점
필터를 교환할 필요가 없을 경우는 , Step7 로 진행해 주십
시오 .
6
필터를 교환합니다 .
더러움이 심하거나 , 열화되어 있을 경우는 , 우측
그림을 참고해서 새로운 필터로 교환해 주십시오 .
7
필터를 원상태로 되돌립니다 .
분리했을 때와 반대 순서로 필터를 장착해 주십시
오.
8
커버를 원위치에 부착합니다 .
커버의 분리 (장비 배면)
Step 2, 3
이 3개의 커버를 분리덕트
프론트 커버
필터의 분리
시스템 컨트롤러
서보 컨트롤러
Step 4
윗 부분을 앞쪽으로 슬라이드
필터
윗 부분을 뒤로 슬라이드
필터부 고정나사
필터부 고정나사
필터