YSM40_Mainte_K - 第156页
A-2 A 1 .2 전원 접 속 부 본체 정 면 하단 우 측 패널 을 열 면 전 원접 속 부 가 있 습니 다 . 다 음과 같은 전 원 케 이블 을 사 용하 여 , 전 원 접 속단 자 판 에 L1 , L 2, L3 과 접 지단 자 ( PE) 를 접속합니 다 . ■ 전원 사양 장 비명칭 전원 주파수 전원용량 YSM 40 삼 상 교 류 2 0 0/2 0 8/ 2 2 0/ 2 4 0/3 8 0/4 …
A-1
A
1. 사양
1.1 에어압 조정부
본체 배면의 좌측하단 패널 안에 , 본체의 에어 구동부에 공급할 에어압의 조정부가 있습니다 .
아래에 표시한 적정값으로 설정해 주십시오 .
에어압 조정부
설정 에어압 표시
[PNEUMATIC]
설정 에어압 조정부
[PNEUMATIC]
에어공급/배출 밸브
헤드 에어압 표시
[HEAD BLOW]
헤드 에어압 조정부
[HEAD BLOW]
원 에어 커넥터
57A01-N5- 0 0
■ 공급에어 압력
공급에어압력이란 ,압력레귤레이터로에어압을설정하기전의본체에공급되는원래압력을말합니다 .
하기의적정범위내로공급하여주십시오 .
YSM40：0.45MPa~0.70MPa
■ 에어압 표시
통상은녹색으로표시되고 ,압력이상한값또는하한값 ( 에어다운검출 ) 에도달한경우는에러가나서빨간색으로바뀝
니다 .
■ 에어압 설정값과 상한 및 하한값
헤드 설정값 하한값 상한값
설정 에어압 공통 0.40Mpa ( ± 0.01) 0.39Mpa 0.41Mpa
헤드 에어압 공통 0.040Mpa ( ± 0.001) 0.039Mpa 0.041Mpa
■ 에어공급 / 배출 밸브
이밸브를우측으로돌리면 ,에어공급을차단합니다 .또한 ,에어경로내에남아있는에어도배출합니다 .
■ 원에어 커넥터
40SH( 日東工器 )소켓을장착한내경8mm이상의에어호스를준비하여접속해주십시오 .에어드라이어및에어필터를
통한청정공기를사용해주십시오 .
A-2
A
1.2 전원 접속부
본체 정면 하단 우측패널을 열면 전원접속부가 있습니다 . 다음과 같은 전원케이블을 사용하여 , 전원 접속단
자판에 L1, L2, L3 과 접지단자 (PE) 를 접속합니다 .
■ 전원사양
장비명칭 전원 주파수 전원용량
YSM40 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE)
메인 브레이커
전원입력 단자
57A02 - N5 -10
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
전원 케이블
L2
L1
L3
PE
57A03 - N5 -00
c
주의
전원케이블에는 ,도체단면적이5.5 ㎟이상의것을사용하여주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
c
주의
전원의접속은 ,윗그림을참조해서반드시전원단자대L1-L2-L3 의순상이되도록접속해주십시오 .잘못접속하면진공펌프
가역회전해서내부의부품수명을현저히저하시킬가능성이있습니다 .
장비의전원을넣기전에검상기로확인하거나 ,전원을넣은후종이를진공펌프앞에가까이해서종이를빨아들이면정상 ( 정
회전 ) 인지확인할수있습니다 .
A-3
A
1.3 장비간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은 , 장비 본체 뒷면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다 .
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기 ( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 로
더 등의 상류기 ( 전장비 ) 와 접속합니다 .
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .(ADVANCED GATE 선택시 )
1.본체가기판반입가능한상태（BUSYOUT:ON）
2.상류기로부터기판반입신호를입력한상태（BAIN[N0100421]:ON）
3.상류기로부터자동운전신호를입력한상태（URIN[N0100422]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우 , 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
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BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100422)
BA IN
(N01000421)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T01000F3)
장비간 기판대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N5-00
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUSINTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSYOUT T01000E4 릴레이접점출력
기판반입중신호출력
2 BUSYOUT T01000E4 릴레이접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구신호입력
4 BAIN N0100421 전압입력
5 비었음( 더미핀있음 ) ( 오삽입방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중신호입력
10 URIN N0100422 전압입력
11 LROUT T01000E7 릴레이접점출력
자동운전중신호출력
12 LROUT T01000E7 릴레이접점출력
13 LEOUT T01000F3 무전압출력
장비간기판대기중신호출력
14 LEOUT T01000F3 무전압출력