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A-3 A 1 .3 장비 간 입출력 커 넥터 하 류 기 및 상류 기 와의 기 판 요 구나 운전상태 등의 신 호 송 수 신은 , 장비 본체 뒷면 의 NE X T I N T ER F ACE 와 PR EV IOUS I N T ER F ACE 커넥 터로 실 행 합니다 . N EX T I NT ER F ACE 커 넥터 는 하 류 기 ( 후 장비 ) 와 접속하 고 , PR EV IOUS I N T ER…

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A-2
A
1.2 전원 접속부
본체 정면 하단 우측패널을 열면 전원접속부가 있습니다 . 다음과 같은 전원케이블을 사용하여 , 전원 접속단
자판에 L1, L2, L3 과 접지단자 (PE) 를 접속합니다 .
■ 전원사양
장비명칭 전원 주파수 전원용량
YSM40 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE)
메인 브레이커
전원입력 단자
57A02 - N5 -10
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
전원 케이블
L2
L1
L3
PE
57A03 - N5 -00
c
주의
전원케이블에는 ,도체단면적이5.5 ㎟이상의것을사용하여주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
c
주의
전원의접속은 ,윗그림을참조해서반드시전원단자대L1-L2-L3 의순상이되도록접속해주십시오 .잘못접속하면진공펌프
가역회전해서내부의부품수명을현저히저하시킬가능성이있습니다 .
장비의전원을넣기전에검상기로확인하거나 ,전원을넣은후종이를진공펌프앞에가까이해서종이를빨아들이면정상 ( 정
회전 ) 인지확인할수있습니다 .
A-3
A
1.3 장비간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은 , 장비 본체 뒷면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다 .
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기 ( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 로
더 등의 상류기 ( 전장비 ) 와 접속합니다 .
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .(ADVANCED GATE 선택시 )
1.본체가기판반입가능한상태（BUSYOUT:ON）
2.상류기로부터기판반입신호를입력한상태（BAIN[N0100421]:ON）
3.상류기로부터자동운전신호를입력한상태（URIN[N0100422]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우 , 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
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3
BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100422)
BA IN
(N01000421)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T01000F3)
장비간 기판대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N5-00
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUSINTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSYOUT T01000E4 릴레이접점출력
기판반입중신호출력
2 BUSYOUT T01000E4 릴레이접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구신호입력
4 BAIN N0100421 전압입력
5 비었음( 더미핀있음 ) ( 오삽입방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중신호입력
10 URIN N0100422 전압입력
11 LROUT T01000E7 릴레이접점출력
자동운전중신호출력
12 LROUT T01000E7 릴레이접점출력
13 LEOUT T01000F3 무전압출력
장비간기판대기중신호출력
14 LEOUT T01000F3 무전압출력
A-4
A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1.본체가기판반출가능한상태（BAOUT:ON）
2.하류기로부터기판반입신호를입력한상태（BUSYIN[N0100420]:ON）
3.하류기로부터자동운전신호를입력한상태（LRIN[N0100423]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우 , BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
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BUSY IN
(N0100420)
+24V
+24V
UR OUT(T01000E6)
LR IN
(N0100423)
+24V
LE IM
(N0100424)
BA OUT
(T01000E5)
I/O BOARD
GND GND
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4
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3
1
반입중 출력
반출요구 입력
자동운전중 입력
자동운전중 출력
장비간 기판대기 출력
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A05 - N5 -0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXTINTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판반입중신호입력
2 BUSYIN N0100420 전압입력
3 BAOUT T01000E5 릴레이접점출력
기판반출요구신호출력
4 BAOUT T01000E5 릴레이접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀있음 ) ( 오삽입방지 )
7 GND
8 비었음
9 UROUT T01000E6 릴레이접점출력
자동운전중신호출력
10 UROUT T01000E6 릴레이접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중신호입력
12 LRIN N0100423 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V)
장비간기판대기중신호입력
14 LEIN N0100424 전압입력