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3-19 3 2.2 X 축 부 X 축의 점검 • 청 소 • 급유방법 에 대하 여 설 명 합니다 . 급유 개소와 급유형 태에 관해서 는 , 제 5 장 「급 유 개소 일 람 」 을 참조해 주 십 시오 . 구 리스건 ( 표준 노즐과 굽은타입 노 즐 ) 과 지정 구리스 ( NSL) 를 준비해 주 십 시 오 . 2.2. 1 X 축 볼 스 크류 의 청소 • 급 유 （ 4 빔） 1 작 업 준비를 합 니다…
3-18
3
9
메인 샤프트의 방향을 바꿉니다 .
로터리헤드탈장착지그를사용하기수월하도록
홈을정면으로향하도록방향을바꿔주십시오 .
573B5-N5-00
0
로터리 헤드 탈장착 지그를 장착합니
다.
로터리의핀과홈이서로맞도록끼워주십시오 .
처음과마지막헤드의사이에「F」가보입니다 .
573B6-N5- 0 0
q
메인 샤프트에 로터리를 끼웁니다 .
로터리헤드탈장착지그의「F」와샤프트의홈이
맞는지확인하고 ,끼워주십시오 .
573B 7-N5-00
w
로터리 헤드 탈장착 지그를 탈착합니
다.
e
스프링 홀더를 장착합니다 .
Step1 과반대순서로스프링홀더를끼워주십시
오.
r
로터리의 장착상태를 확인합니다 .
손으로로터리를좌우양방향으로한바퀴돌려주
십시오 .도중에걸림이있을경우는 ,재차로터리
를빼주십시오 .고정블록의위치를확인하고
Step9 부터같은순서대로다시장착해주십시오 .
지그의 장착
Step 10
핀
첫번째 헤드
마지막 헤드
홈
로터리의 장착
Step 11
메인 샤프트 홈
「F」각인
메인 샤프트의 방향변경
Step 9
메인 샤프트 홈
로터리 헤드 탈장착 지그
3-19
3
2.2 X 축부
X 축의 점검•청소• 급유방법에 대하여 설명합니다 . 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 제 5 장「급유개소
일람」을 참조해 주십시오 . 구리스건( 표준노즐과 굽은타입 노즐) 과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급 유（ 4 빔）
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
X 축의구리스비산방지커버를떼어내주십시오 .
1. 십자드라이버로구리스비산방지커버 ( 장비
중앙쪽 ) 의고정나사를뺍니다 .
2. 구리스비산방지커버를장비의중앙쪽으로당
겨서떼어냅니다 .
57311-N5 - 00
참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 부착할 때에는 , 상기의 반
대 순서로 작업해 주십시오 . 모터쪽은 선단을 밀어넣는 타
입으로 되어 있습니다 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로오래된구리스와더러움을
닦습니다 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽
의볼스크류도닦습니다 .
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n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 부착 여부도 확인하여 주십시오 .
비산방지 커버의 분리
Step 2
비산방지 커버
커버 고정나사
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류
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3
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과같이구리스건삽입구멍으로구리
스니플이보이도록헤드유닛을손으로이동
시킵니다 .
2. 구리스건 (30°굽은타입 ) 으로구리스니플로
부터지정구리스를주입합니다 .
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n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 볼스크류및너트단면에고인여분의구리스
를닦아냅니다 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽
의볼스크류및너트단면에고인여분의구리
스도닦아냅니다 .
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6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 비산방지커버를원상태로부착합니다 .
3. 장비의커버를닫고 ,대차를세팅한후 ,비상
정지를해제합니다 .
4. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .
e
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
정지후 ,비상정지버튼을누르고비산방지커버를
떼어내서볼스크류및너트단면에고여있는구리
스를닦아주십시오 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step6~7 을반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스 건
(30°굽은타입)
여분의 구리스 닦아내기
Step 5
여분의
구리스