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3-21 3 2.2.2 X 축 볼스 크류 의 청소 • 급 유 (2 빔 ) 1 작 업 준비를 합 니다 . e 1 . 손목 시 계 ,자 기ID 카드등 ,자 력 에영 향을받는물 건 은전 부빼둡 니 다 . 2. 「EMERGENC YSTOP 」 버 튼을눌러 서장비 를비 상정 지상태 로합니 다 . 3. 대 차클램 프스 위 치 로대 차를내려 서탈착 합니 다 . …

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3
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과같이구리스건삽입구멍으로구리
스니플이보이도록헤드유닛을손으로이동
시킵니다 .
2. 구리스건 (30°굽은타입 ) 으로구리스니플로
부터지정구리스를주입합니다 .
57313 -N5- 0 0
n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 볼스크류및너트단면에고인여분의구리스
를닦아냅니다 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽
의볼스크류및너트단면에고인여분의구리
스도닦아냅니다 .
57314 - N5- 0 0
6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 비산방지커버를원상태로부착합니다 .
3. 장비의커버를닫고 ,대차를세팅한후 ,비상
정지를해제합니다 .
4. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .
e
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
정지후 ,비상정지버튼을누르고비산방지커버를
떼어내서볼스크류및너트단면에고여있는구리
스를닦아주십시오 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step6~7 을반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스 건
(30°굽은타입)
여분의 구리스 닦아내기
Step 5
여분의
구리스
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3
2.2.2 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
X 축의구리스비산방지커버를떼어내주십시오 .
1. 십자드라이버로구리스비산방지커버 ( 모터
쪽 ) 의고정나사를뺍니다 .
2. 헤드유닛을모터쪽으로가까이합니다 .
3. 십자드라이버로모터와반대쪽의커버고정나
사를풀어서구리스비산방지커버를당겨서
뺍니다 .
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참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 부착할 때에는 , 상기의 반
대 순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로오래된구리스와더러움을
닦습니다 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽
의볼스크류도닦습니다 .
57363-N5 - 00
c
주의
청소작업시에는볼스크류의리드홈도깨끗하게닦아주십시
오 .또한 ,이물질의부착여부도확인하여주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과같이구리스건삽입구멍에구리스
니플이보이도록헤드유닛을손으로이동시킵
니다 .
2. 구리스건 (30°굽은타입 ) 으로구리스니플로
부터지정구리스를주입합니다 .
5736 4- N5 -00
n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
비산방지 커버의 분리
Step 2
비산방지 커버
커버 고정나사
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스건
(30°굽은타입)
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3
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 볼스크류및너트단면에고인여분의구리스
를닦아냅니다 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽
의볼스크류및너트단면에고인여분의구리
스도닦아냅니다 .
57365-N5-00
6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 비산방지커버를원상태로부착합니다 .
3. 장비의커버를닫고 ,대차를세팅한후 ,비상
정지를해제합니다 .
4. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .
e
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
정지후 ,비상정지버튼을누르고비산방지커버를
떼어내서볼스크류및너트단면에고여있는구리
스를닦아주십시오 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step6~7 을반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
여분의 구리스 닦아내기
Step 5
여분의 구리스