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3-26 3 2 .3 Y 축 부 Y 축 부의 점 검 • 청 소 • 급유방법에 대 해서 설 명합니 다 . 급유개 소와 급유형 태에 관해서 는 , 제 5 장 「급 유 개소 일 람 」을 참조 해 주 십시 오 . 구 리스건과 지 정 구 리 스 ( NSL) 를 준비해 주 십시 오 . 2.3 . 1 Y 축 가 이드 의 청소 • 급 유 (4 빔 ) 1 작 업 준비를 합 니다 . 1 . 손목 시 계 ,…

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3
2.2.4 X 축 가이드의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로
이동시킵니다 .
2. 가이드전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 크린룸용 )등으로오래된구리스와더러움
을닦아주십시오 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽
가이드도닦아주십시오 .
5736 6- N5 -00
3
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과같이하부의구리스니플이보이
는위치까지헤드유닛을이동시킵니다 .
2. 표준타입의구리스건을사용해서 ,상부 (2 군
데 )및하부 (1 군데 ) 의구리스니플로부터지
정구리스 (NSL) 를주입해주십시오 .
573 6 7-N5-00
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고 -헤드유닛을한쪽으로이
동시킵니다 .
2. 가이드단면에고인여분의구리스를닦아냅니
다.
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽의
가이드단면에고인여분의구리스도닦아냅니
다.
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
3. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .정지후 ,비상정지버튼을누르
고 ,가이드단면에고인구리스를닦습니다 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이와이퍼등으로닦아주십시오 .더러움이심
하면 ,IPA 를적신와이퍼로우측그림과같이일
정방향으로닦은후에종이와이퍼로닦습니다 .
57368-N5-00
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
가이드의 청소
Step 2
종이 와이퍼가이드
구리스의 주입
Step 3
가이드(상부)용 구리스 니플
가이드(하부)용 구리스 니플
리니어 스케일의 청소
Step 6
종이 와이퍼
리니어 스케일 (일정 방향으로 닦는다)
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3
2.3 Y 축부
Y 축부의 점검•청소• 급유방법에 대해서 설명합니다 . 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 제 5 장「급유개소
일람」을 참조해 주십시오 . 구리스건과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
2.3.1 Y 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
e
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을한쪽으로이동시키고 ,가이드전체를
먼지가나지않는종이와이퍼 ( 크린룸용 )등
으로닦습니다 .
2. 그다음에 ,축을반대쪽으로이동시켜서 ,반
대쪽의가이드도닦습니다 .
57318-N5-00
가이드의 청소
Step 2
와이퍼
가이드
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3
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 표준노즐 ) 을사용해서 ,Y 축가이드
용구리스니플 ( 합계4 군데 ) 로부터지정구리스
(NSL) 를주입합니다 .
1. 전후아래쪽의합계2 군데에급유합니다 .
2. 전후위쪽의합계2 군데에급유합니다 .
57319 - N5- 00
n
요점
X 축을 밀어서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올 때
까지 급유해 주십시오 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로축을수차례이동시킨후 ,남은구리스를
닦아주십시오 .
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
2. 워밍업화면을표시해서8 분정도워밍업합니
다 .정지후 ,비상정지버튼을누르고가이드
및가이드단면에고인구리스를닦아주십시
오.
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이와이퍼등으로닦아주십시오 .
더러움이심할경우는 ,IPA 를적신와이퍼로우
측그림과같이일정방향으로닦은후에종이와
이퍼로닦아주십시오 .
57320- N5 -0 0
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
구리스의 주입
Step 3
전후 아래쪽
전후 위쪽
구리스건(표준타입)
리니어 스케일의 청소
Step 6
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다