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3-28 3 2.3 .2 Y 축 가 이드의 청소 • 급 유 (2 빔 ) 1 작 업 준비를 합 니다 . e 1 . 손목 시 계 ,자 기ID 카드등 ,자 력 에영 향을받는물 건 은전 부빼둡 니 다 . 2. 「EMERGENC YSTOP 」버튼 을눌러 서장비 를비 상정 지상태 로합니 다 . 3. 대 차클램 프스 위 치 로대 차를내려 서탈착 합니 다 . 4.…

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3
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 표준노즐 ) 을사용해서 ,Y 축가이드
용구리스니플 ( 합계4 군데 ) 로부터지정구리스
(NSL) 를주입합니다 .
1. 전후아래쪽의합계2 군데에급유합니다 .
2. 전후위쪽의합계2 군데에급유합니다 .
57319 - N5- 00
n
요점
X 축을 밀어서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올 때
까지 급유해 주십시오 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로축을수차례이동시킨후 ,남은구리스를
닦아주십시오 .
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
2. 워밍업화면을표시해서8 분정도워밍업합니
다 .정지후 ,비상정지버튼을누르고가이드
및가이드단면에고인구리스를닦아주십시
오.
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이와이퍼등으로닦아주십시오 .
더러움이심할경우는 ,IPA 를적신와이퍼로우
측그림과같이일정방향으로닦은후에종이와
이퍼로닦아주십시오 .
57320- N5 -0 0
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
구리스의 주입
Step 3
전후 아래쪽
전후 위쪽
구리스건(표준타입)
리니어 스케일의 청소
Step 6
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다
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3
2.3.2 Y 축 가이드의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을한쪽으로이동시키고 ,가이드전체를
먼지가나지않는종이와이퍼 ( 크린룸용 )등
으로닦습니다 .
2. 그다음에 ,축을반대쪽으로이동시켜서 ,반
대쪽의가이드도닦습니다 .
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 표준노즐 ) 을사용해서 ,우측그림의
Y 축가이드용구리스니플 (4 군데 ) 로부터지정
구리스 (NSL) 를주입합니다 .
57369-N5- 0 0
n
요점
X 축을 밀어서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올 때
까지 급유해 주십시오 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로축을수차례이동시킨후 ,남은구리스를
닦아주십시오 .
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
2. 워밍업화면을표시해서8 분정도워밍업합니
다 .정지후 ,비상정지버튼을누르고가이드
및가이드단면에고인구리스를닦아주십시
오.
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
1. 와이퍼에IPA 를적셔서 ,우측의그림과같이
가로방향으로닦은후에종이와이퍼로닦아
주십시오 .
2. 와이퍼에IPA 를적셔서 ,원점마크부근을세
로방향으로왕복3 번이상닦은후에종이와
이퍼로닦아주십시오 .
57370 -N5 -0 0
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
구리스의 주입
Step 3
상부 가이드용 구리스 니플
하부 가이드용 구리스 니플
리니어 스케일의 청소
Step 6
와이퍼
리니어 스케일
원점마크(세로 라인)
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3
2.4 컨베이어부 , 그 외
기판 반송부의 통과위치 기판검출 센서와 입구 / 출구 위치 기판검출 센서 및 피더들뜸 센서의 청소방법을
다음과 같이 설명합니다 .
2.4.1 기판 센 서
1
입구
•
출구위치 기판검출 센서를 청소
합니다 .
1. 광학계브러시로센서부상면의먼지를털어
주십시오 .
2. IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서
상면의더러움을닦습니다 .
57 321-N5-00
2
통과위치 센서 수광부를 청소합니다 .
광학계브러시로통과위치센서수광부의먼지를
털어주십시오 .
3
통과위치 센서 투광부를 청소합니다 .
광학계브러시로센서선단부홀의먼지를털어주
십시오 .
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n
요점
선단부 홀에 먼지 이외의 이물질이 들어 갔을 경우는 , 버큠
ASSY( 옵션 ) 로 흡입해 주십시오 .
2.4.2 피더들뜸 센서
1
일괄교환 대차를 탈착합니다 .
2
센서부의 먼지를 털어냅니다 .
광학계브러시로센서부근의먼지를제거해주십
시오 .
57323 - N5 -00
3
센서부를 청소합니다 .
IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서표면
을닦아주십시오 .
c
주의
센서를청소할때에는 ,무리하게힘을가하지마십시오 .
n
요점
cATS 도 피더들뜸 센서가 장착되어 있습니다 . 일괄교환
대차와 같은식으로 청소해 주십시오 .
기판 센서의 청소
Step 1
입구(출구)센서
광학계 브러시
와이퍼
통과위치 센서(수광부)
통과위치 센서
(투광부)
기판센서(투광부)의 청소
Step 3
광학계 브러시
선단부 홀
통과위치 센서(투광부)
피더들뜸 센서의 청소
Step 2, 3
피더들뜸 센서
와이퍼