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3-29 3 2. 4 컨베이 어 부 , 그 외 기 판 반 송 부의 통 과 위 치 기판 검출 센서 와 입 구 / 출 구 위치 기 판검 출 센서 및 피 더들뜸 센서의 청 소 방법 을 다 음 과 같이 설명 합니 다 . 2 . 4 .1 기 판 센 서 1 입구 • 출 구위치 기판 검출 센 서를 청소 합니다 . 1 . 광학 계브러시 로센 서 부상면의먼 지 를털 어 주 십시오 . 2. IP…

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3-28
3
2.3.2 Y 축 가이드의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을한쪽으로이동시키고 ,가이드전체를
먼지가나지않는종이와이퍼 ( 크린룸용 )등
으로닦습니다 .
2. 그다음에 ,축을반대쪽으로이동시켜서 ,반
대쪽의가이드도닦습니다 .
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 표준노즐 ) 을사용해서 ,우측그림의
Y 축가이드용구리스니플 (4 군데 ) 로부터지정
구리스 (NSL) 를주입합니다 .
57369-N5- 0 0
n
요점
X 축을 밀어서 , 새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올 때
까지 급유해 주십시오 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
손으로축을수차례이동시킨후 ,남은구리스를
닦아주십시오 .
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
2. 워밍업화면을표시해서8 분정도워밍업합니
다 .정지후 ,비상정지버튼을누르고가이드
및가이드단면에고인구리스를닦아주십시
오.
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
1. 와이퍼에IPA 를적셔서 ,우측의그림과같이
가로방향으로닦은후에종이와이퍼로닦아
주십시오 .
2. 와이퍼에IPA 를적셔서 ,원점마크부근을세
로방향으로왕복3 번이상닦은후에종이와
이퍼로닦아주십시오 .
57370 -N5 -0 0
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
구리스의 주입
Step 3
상부 가이드용 구리스 니플
하부 가이드용 구리스 니플
리니어 스케일의 청소
Step 6
와이퍼
리니어 스케일
원점마크(세로 라인)
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3
2.4 컨베이어부 , 그 외
기판 반송부의 통과위치 기판검출 센서와 입구 / 출구 위치 기판검출 센서 및 피더들뜸 센서의 청소방법을
다음과 같이 설명합니다 .
2.4.1 기판 센 서
1
입구
•
출구위치 기판검출 센서를 청소
합니다 .
1. 광학계브러시로센서부상면의먼지를털어
주십시오 .
2. IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서
상면의더러움을닦습니다 .
57 321-N5-00
2
통과위치 센서 수광부를 청소합니다 .
광학계브러시로통과위치센서수광부의먼지를
털어주십시오 .
3
통과위치 센서 투광부를 청소합니다 .
광학계브러시로센서선단부홀의먼지를털어주
십시오 .
57322 - N5 -0 0
n
요점
선단부 홀에 먼지 이외의 이물질이 들어 갔을 경우는 , 버큠
ASSY( 옵션 ) 로 흡입해 주십시오 .
2.4.2 피더들뜸 센서
1
일괄교환 대차를 탈착합니다 .
2
센서부의 먼지를 털어냅니다 .
광학계브러시로센서부근의먼지를제거해주십
시오 .
57323 - N5 -00
3
센서부를 청소합니다 .
IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서표면
을닦아주십시오 .
c
주의
센서를청소할때에는 ,무리하게힘을가하지마십시오 .
n
요점
cATS 도 피더들뜸 센서가 장착되어 있습니다 . 일괄교환
대차와 같은식으로 청소해 주십시오 .
기판 센서의 청소
Step 1
입구(출구)센서
광학계 브러시
와이퍼
통과위치 센서(수광부)
통과위치 센서
(투광부)
기판센서(투광부)의 청소
Step 3
광학계 브러시
선단부 홀
통과위치 센서(투광부)
피더들뜸 센서의 청소
Step 2, 3
피더들뜸 센서
와이퍼
3-30
3
3. 3 개월
█
헤드를 탈착하지 않고 장비내에서 작업할 경우
작업시에는 ,다음의주의사항을준수해서실시해주십시오 .
1.손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
e
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3.대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4.사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
3.1 MU 헤드
3.1.1 에어필터의 청소와 교환
공급에어의 상태나 가동시간에 따라 다릅니다만 , 일반적으로 3 개월 간격으로 필터를 점검해 주십시오 .
다소의 더러움은 에어블로우 툴로 제거해 주십시오 . 제거되지 않을 경우는 , 필터를 교환해 주십시오 .
1
필터 고정 플레이트의 나사를 느슨하게
합니다 .
십자드라이버로필터고정플레이트의나사를
느슨하게해주십시오 .
2
필터 캡을 분리합니다 .
필터고정플레이트를밑으로내리면필터캡과
필터를분리할수가있습니다 .
5732 4 - N5 -00
3
필터를 청소합니다 .
필터의더러움이심하지않으면 ,에어블로우툴로
청소해서재이용해주십시오 .
57325 N5 -00
n
요점
더러움이 심하거나 변색되어 있을 경우에는 , 필터를 새 것
(KLF-M7156-00X) 으로 교환합니다 .
장비의 가동 시간에 따라 다릅니다만 , 필터 교환의 기준은
3 개월에 1 번입니다 .
4
필터를 장착합니다 .
1. 필터캡에필터를끼워서원위치로되돌려주
십시오 .
2. 필터고정플레이트를위로밀어올리고십자
드라이버로고정해주십시오 .
5
하단도 같은 식으로 작업합니다 .
필터는상하2 단으로배열되어있으므로 ,
하단도같은식으로청소해주십시오 .
필터 캡의 분리
Step 1, 2
필터 캡
필터
나사
필터 고정 플레이트
고정
개방
필터의 청소
Step 3
필터
에어블로우 툴