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3-30 3 3 . 3 개 월 █ 헤 드를 탈 착 하지 않고 장비내 에 서 작업할 경우 작 업 시에 는 ,다 음 의주의사항을준수해서실 시 해주십시 오 . 1 . 손목시 계 ,자기ID 카드등 ,자력에영 향을받는물건 은전 부빼둡니 다 . e 2. 「EMERGENCYSTO P 」 버튼 을눌러서장비 를비상정 지상태 로합니다 . 3. 대 차클램 프스위 …

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3
2.4 컨베이어부 , 그 외
기판 반송부의 통과위치 기판검출 센서와 입구 / 출구 위치 기판검출 센서 및 피더들뜸 센서의 청소방법을
다음과 같이 설명합니다 .
2.4.1 기판 센 서
1
입구
•
출구위치 기판검출 센서를 청소
합니다 .
1. 광학계브러시로센서부상면의먼지를털어
주십시오 .
2. IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서
상면의더러움을닦습니다 .
57 321-N5-00
2
통과위치 센서 수광부를 청소합니다 .
광학계브러시로통과위치센서수광부의먼지를
털어주십시오 .
3
통과위치 센서 투광부를 청소합니다 .
광학계브러시로센서선단부홀의먼지를털어주
십시오 .
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n
요점
선단부 홀에 먼지 이외의 이물질이 들어 갔을 경우는 , 버큠
ASSY( 옵션 ) 로 흡입해 주십시오 .
2.4.2 피더들뜸 센서
1
일괄교환 대차를 탈착합니다 .
2
센서부의 먼지를 털어냅니다 .
광학계브러시로센서부근의먼지를제거해주십
시오 .
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3
센서부를 청소합니다 .
IPA 를조금적신와이퍼또는면봉으로센서표면
을닦아주십시오 .
c
주의
센서를청소할때에는 ,무리하게힘을가하지마십시오 .
n
요점
cATS 도 피더들뜸 센서가 장착되어 있습니다 . 일괄교환
대차와 같은식으로 청소해 주십시오 .
기판 센서의 청소
Step 1
입구(출구)센서
광학계 브러시
와이퍼
통과위치 센서(수광부)
통과위치 센서
(투광부)
기판센서(투광부)의 청소
Step 3
광학계 브러시
선단부 홀
통과위치 센서(투광부)
피더들뜸 센서의 청소
Step 2, 3
피더들뜸 센서
와이퍼
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3
3. 3 개월
█
헤드를 탈착하지 않고 장비내에서 작업할 경우
작업시에는 ,다음의주의사항을준수해서실시해주십시오 .
1.손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
e
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3.대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4.사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
3.1 MU 헤드
3.1.1 에어필터의 청소와 교환
공급에어의 상태나 가동시간에 따라 다릅니다만 , 일반적으로 3 개월 간격으로 필터를 점검해 주십시오 .
다소의 더러움은 에어블로우 툴로 제거해 주십시오 . 제거되지 않을 경우는 , 필터를 교환해 주십시오 .
1
필터 고정 플레이트의 나사를 느슨하게
합니다 .
십자드라이버로필터고정플레이트의나사를
느슨하게해주십시오 .
2
필터 캡을 분리합니다 .
필터고정플레이트를밑으로내리면필터캡과
필터를분리할수가있습니다 .
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3
필터를 청소합니다 .
필터의더러움이심하지않으면 ,에어블로우툴로
청소해서재이용해주십시오 .
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n
요점
더러움이 심하거나 변색되어 있을 경우에는 , 필터를 새 것
(KLF-M7156-00X) 으로 교환합니다 .
장비의 가동 시간에 따라 다릅니다만 , 필터 교환의 기준은
3 개월에 1 번입니다 .
4
필터를 장착합니다 .
1. 필터캡에필터를끼워서원위치로되돌려주
십시오 .
2. 필터고정플레이트를위로밀어올리고십자
드라이버로고정해주십시오 .
5
하단도 같은 식으로 작업합니다 .
필터는상하2 단으로배열되어있으므로 ,
하단도같은식으로청소해주십시오 .
필터 캡의 분리
Step 1, 2
필터 캡
필터
나사
필터 고정 플레이트
고정
개방
필터의 청소
Step 3
필터
에어블로우 툴
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3.2 HS 헤드
3.2.1 에어필터의 청소와 교환
공급에어의 상태나 가동시간에 따라 다릅니다만 , 일반적으로 3 개월 간격으로 필터를 점검해 주십시오 .
다소의 더러움은 에어블로우 툴로 제거해 주십시오 . 제거되지 않을 경우는 , 필터를 교환해 주십시오 .
1
필터 캡을 분리합니다 .
우측그림의슬라이드부를밀어서필터캡을밑으
로빼주십시오 .필터캡의선단에필터가부착되
어있습니다 .
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2
필터를 청소합니다 .
필터의더러움이심하지않으면 ,에어블로우툴로
청소해서재사용해주십시오 .
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n
요점
더러움이 심하거나 변색되어 있을 경우에는 , 필터를 새 것
(KLF-M7156-00X) 으로 교환합니다 .
장비의 가동 시간에 따라 다릅니다만 , 필터 교환의 기준은
3 개월에 1 번입니다 .
3
필터를 장착합니다 .
1. 필터캡에필터를끼웁니다 .
2. 슬라이드부를밀면서원위치에끼워주십시
오.
c
주의
필터캡은 ,반드시안쪽까지완전히끼워져있는지확인해주
십시오 .
필터 캡의 분리
Step 1
필터 캡
필터
슬라이드부
필터의 청소
Step 2
필터
에어블로우 툴