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NPM-TT2 EJM1EC-MB-02O-00 2-5-7 -7 操作篇 2 - 5 - 7 个别 准备 支撑销的更换 1 1 + 请事先读入有支撑销配 置信息的生产数据。 ( 把支撑销配置在生产数据的配置坐标的位 置。 ) B C D 支撑销的状态 支撑销返回 支撑销返回基准位置。 重新配置支撑销 识别被配置的支撑销，如果配置位置 在支 撑销偏位的容许范围外，需要重新配 置。 C D E B E 删除支撑销信息 从设备取出支撑销时使…
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确认支撑销的数量
1
1
+
（XY单元退避，成为可以增减支撑销的
状态）
* 当为双轨模式时，请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。（→P2-
2-1-
2
轨道显示）
3
3
+
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置，使两者数量相同。
(确认支撑销的数量和位置，信息被更新)
4
4
输入设备内的支撑销数量
2
2
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操作篇
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个别
准备
支撑销的更换
1
1
+
请事先读入有支撑销配置信息的生产数据。
(把支撑销配置在生产数据的配置坐标的位
置。)
B
C
D
支撑销的状态
支撑销返回
支撑销返回基准位置。
重新配置支撑销
识别被配置的支撑销，如果配置位置在支
撑销偏位的容许范围外，需要重新配置。
C D
EB
E
删除支撑销信息
从设备取出支撑销时使用，执行后，配置
数据被清零。
●更换支撑销时如果紧急停止，支撑销可
能会落下，不可直接再启动。或者将脱
落的支撑销重新设置到主站上，或者更
换上新的支撑销。
●支撑销更换时如果打开安全盖，同时需
要更换。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量多时
生产时不使用的支撑销，设备根据基板
尺寸判断数量，使其自动退避到基板的
范围外。
* 请不要超出在(支撑销持有数)-(生产
数据上的配置数量)
(→P2-5-7-
10
)所示的可退避销的数量。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量少时
会显示错误，需要变更支撑销使用数量。
※分别用颜色表示支撑销的状态
主:支撑销在基准位置。(以黄绿色显示)
配置:支撑销在生产数据的配置坐标位置。
(以蓝色显示)
不定:支撑销的状态，不在基准位置也不
在配置位置，处于不明状态。
(以黄色显示)
无: 没有支撑销。(以灰色显示)
( )
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支撑销配置位置的确认 1
1
1
+
由于在取出基板时，不慎用手移动支撑销、设备的碰撞等使支撑销偏位、在生产过程中增减支撑销等情况，可
能会造成生产数据上配置的销数量和设备内的数量有所不同。
请每周1次确认支撑销的配置位置。
(确认画面显示的支撑销的状态)
继续生产。
■画面显示的支撑销的状态和设备内状态
不同时
■正常结束时
2
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