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NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-00 3-1-1 -4
NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-00
3-1-1
-3
交换台车被卸下的状态时
21
OFF
SERVO
5
SERVO
ON
6
独立实装模式时，在交换台车被卸下的状态下，对侧轴也可进行生产。
对器准备作业进行说明。
3
使X轴移动
退避位置标签
X轴端部
生产
2
操作篇
3-1-1
移动交换台车被卸下一方的X轴端部，使其一直移动到Ｙ轴的退避位置标签的上侧。
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3-1-1
-4
NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-00
3-1-2
-1
停止
■立即停止生产时＜单一停止＞
1
●生产再启动时
+
■基板生产后，停止时＜循环停止＞
1
●生产中的基板在生产后，
再停止生产。
●生产再启动时
+
生产
操作篇
3-1-2
■一定数量的基板生产后，停止时＜自动停止＞
在设定数量的基板生产后，自动停止生产，返回到主菜单。
(→P.2-7-1)
取消停止
2
停止前
●停止生产。
●在双轨下，轨道1和
2都会停止。
●在独立贴装模式下，指定
轨道。
生产结束
+
结束
2
确认提示
1
2
■手动时