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NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-00 3-2-12 -2 3 从设备上抽出发生错误的基板 4 确认已抽出后 + ( 将会开始生产 ) 5 发生基板位置错误后 ■托盘供料器规格时 请使用作业台 ( 由客户准备 ) 抽出基板。 ■交换台车规格时 请取下交换台车后，抽出基板。 ( → “维护篇”的 P.3-2) 5
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在这里对基板弯曲检测错误的处理方法进行说明。
生产信息
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操作篇
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●错误的种类共有下述五种。
A:基板弯曲范围超限、B:基板弯曲预计范围异常、C:基板弯曲结果倾斜异常、D:基板弯曲计测错误、
E:基板弯曲补正不可
●当发生基板弯曲检测错误时，请根据错误种类实施下述四种操作。
①重新计测基板弯曲形状
返回到主菜单后，重新开始生产
②抽出错误基板
按照下述流程实施操作
+
2
(返回到主画面)
操作方法
错误种类
①
重新计测基板弯曲形状
A、B、C
②
抽出错误基板
A、B、C
③
变更基板弯曲倾斜容许值
C
④
示教基板弯曲计测
A、B、C、D、E
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从设备上抽出发生错误的基板
4
确认已抽出后
+
(将会开始生产)
5
发生基板位置错误后
■托盘供料器规格时
请使用作业台(由客户准备)抽出基板。
■交换台车规格时
请取下交换台车后，抽出基板。
(→“维护篇”的P.3-2)
5
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生产信息
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操作篇
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(将删除错误发生位置的基板信息)
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(返回到生产准备动作画面)
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+
●完成了基板抽取作业。
(开始生产)
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