SM471_PLUS_Maintenance(Chi_Ver2.2)_red - 第9页
SM471 PLUS Maintenance Handbook Chap ter 6 Appendix 消耗品更换清单 ................................ 6 - 1 Chap ter 5 每月检验 Head Spindle 清扫 .............................. 5 - 1 Conveyor Sensor / Fiducial Mark 检查及清扫 ..... 5-3 Cove…

SM471 PLUS Maintenance Handbook
Table of Contents
Chapter 1
维护条件
维护前共同执行程序 .............................
1
-
1
维护后共同执行程序 .............................1-9
作业环境及条件 ................................1-11
维护用工具 ....................................1-12
Chapter 2
维修检验事项
每日检查项目 ..................................
2
-
1
每周检查项目 ...................................2-3
每月检查项目 (1/2) .............................2-5
每月检查项目 (2/2) .............................2-7
Chapter 3
每日检查
Nozzle
的检查及清扫 ............................
3
-
1
Dump Box 清扫 ...................................3-5
清扫Feeder及Feeder Base ......................... 3-6
清扫Backup Table ................................3-9
空气过滤网的检查及更换 ........................3-11
Mist Separator Filter 检查及更换 ..............3-13
Fast Chip Shooter
SM471 PLUS Maintenance Handbook
Chapter 4
每周检查
Head
Fly
Camera
Lens
清扫 .....................
4
-
1
Head Mirror清扫 .................................4-2
Solenoid Valve的检查 ............................ 4-3
Head Vacuum Filter检查及更换 ...................4-5

SM471 PLUS Maintenance Handbook
Chapter 6
Appendix
消耗品更换清单 ................................
6
-
1
Chapter 5
每月检验
Head
Spindle
清扫 ..............................
5
-
1
Conveyor Sensor / Fiducial Mark 检查及清扫 .....5-3
Cover Cooling Fan 检查及清扫 ...................5-4
Cover的Cooling Fan检查及清扫 ...................5-5
Head Spindle,Mirror CAM清扫及注油 ..............5-6
Head Beam Splitter检查及清扫 ...................5-7
X Frame LM Guide,Ball Screw清扫及注油 ..........5-8
Y Frame LM Guide清扫及注油 ....................5-11
Y Frame Ball Screw清扫及注油 ..................5-14
Conveyor Lead Screw,LM Guide清扫及注油及涂抹 ..5-16
清扫护盖(Cover) ................................5-21

Chapter 1
本部分介绍设备维护作业环境、作业工具、维修项目等。
维护条件
Fast Chip Shooter
SM471 PLUS Maintenance Handbook
1-1
维护前共同执行程序
1. 切断电源步骤
Main 电源 OFF
① 按'STOP'按钮
② 按
'RESET'
按钮
③
File
Menu
按钮
④ 单击
MMI
的
'EXIT'
按钮
⑤ 显示器上出现
"
现在可以关闭系统电源
"
提示时、关闭
"Main"
开关
⑥ 关闭主电源断路器
1
2
4
3
5
6
警 告
正常结束 MMI时需要关闭系统、否则可能由于非正常关闭使系统出错造成设备损坏或人员受伤。
定要在正常结束MMI后关闭系统。
警 告
确保在维护和修理机器以前切断电源、否则可能发生事故导致操作人员受伤。
Chapter 1
维护条件
本部分介绍设备维护作业环境、作业工具、维修项目等。
维护前共同执行程序