Chapter3_Repair_Guide - 第318页
Model DECAN Series Company SAMSUNG TECHWIN Module 3.18 V ACUUM DEVICE V ersion 01 Tit le 更换 MAIN AIR REGULA TOR Page 3-18-10 Note [ 更换 MAIN AIR REGULA TOR]

Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
检查VACUUM PUMP及气动量
Page
3-18-9
Note
[检查 VACUUM PUMP 及气动量]
执行运行测试后,确认有无异常(检查错误日志文件)
拆卸设备的前下方盖板后,确认 Vacuum Pump 的类型
Pump Type Generator(Ejector) Type
确认附着于设备前面的 Vacuum Pressure 贴纸是否与 Vacuum Pump 的类型一致
Pump Type Generator(Ejector) Type
在 MMI 的<Diagnosis> → <F5(Vacuum)>检查 Vacuum Level / Blow 量
检查标准
确认 Vacuum Level "0"点:Current Level 值 -9 ~ 9 mmHg 以内
喷嘴未安装状态下,确认各 Head 的 Vacuum Level:各 Head 为 60 ~ 120 mmHg 以内
安装 CN040 喷嘴状态下,确认 Vacuum Level:各 Head 为 480 mmHg 以上
堵住喷嘴时,600mmHg 以上
安装 CN040 喷嘴状态下,确认 Blow 量:-90 ~ -70 mmHg 以内
Sol Valve 检查反复 30 次后,确认 Red Lamp 是否亮灯

Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
更换MAIN AIR REGULATOR
Page
3-18-10
Note
[更换 MAIN AIR REGULATOR]

Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
3.18 VACUUM DEVICE
Version
01
Title
设定主气动
Page
3-18-11
Note
[设定主气动]
零点设定
没有输入气动的状态下,同时按下▼和▲直至显示窗上表示<00>为止
初期设定模式
① 在初期启动状态下,按下[SET]按钮三秒
② 在<ot1>用[▼]和[▲]键设定为<HYS>后,按下[SET]按钮
③ 在<ot1>用[▼]和[▲]键设定为<no>后,按下[SET]按钮
④ 在<ot2>用[▼]和[▲]键设定为<oFF>后,按下[SET]按钮
⑤ 在<rES>用[▼]和[▲]键设定为<2.5>后,按下[SET]按钮
⑥ 在<Col>用[▼]和[▲]键
设定为<SoG>后,按下[SET]按钮
⑦ 在<uni>用[▼]和[▲]键设定为<Mpa>后,按下[SET]按钮
压力设定模式
① 按下[SET]按钮一次后,在子窗口显示<L1>时,用[▼]和[▲]键设定为 0.4
② 在子窗口显示<H1>时,用[▼]和[▲]键设定为 0.5
将 Main Air Pressure 的 Digital Gauge 调整为 0.5 Mpa、将 Vacuum 的 Gauge 调整为-95kPa 以下
Regulator 上连接气动测定仪后,设定为 0.9 ~ 1.1 BAR