RV-2_使用说明书 - 第402页
第 6 章 附录 6- 1. 故障排除 12 警报代码 错误内容 原因 应对方法 0xA10000 23 右侧基板传感器检测（ 前 通道） (1) 有基板。 (2) 有异物。 (3) 传感器反应不良。 (1) 请取下基板。 (2) 请清除异物。 (3) 请调整传感器，使 其能够正常反应。 0xA10000 24 左侧基板传感器检测（ 前 通道） 0xA10000 25 减速传感器检测（前通 道） (1) 有基板。 (2) 有异物。 (3…
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
11
6
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000014
夹具动作超时（前通道）
(1)
夹具气缸的动作不
良。
(2)
夹具传感器反应不
良。
(3)
超时时间较短。
(1)
请调整夹具气缸，
使其正常动作。
(2)
请调整夹具传感
器，使其能够正常反
应。
(3)
请重新设定超时时
间。
0xA1000015
夹具动作超时（后通道）
0xA1000016
基板搬入动作超时（前通
道）
(1)
搬送时基板被卡住。
(2)
超时时间较短。
(1)
请设定较大的搬送
间隙。
(2)
请重新设定超时时
间。
0xA1000017
基板搬入动作超时（后通
道）
0xA1000018
基板搬出动作超时（前通
道）
0xA1000019
基板搬出动作超时（后通
道）
0xA100001A
基板搜索超时（前通道）
0xA100001B
基板搜索超时（后通道）
0xA100001C
W
轴动作超时错误
(1)
动作速度较慢。
(2)
超时时间较短。
(1)
请重新设定动作速
度。
(2)
请重新设定超时时
间。
0xA100001D
W1
轴
CW
限位传感器检
测
W1
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA100001E
W1
轴
CCW
限位传感器
检测
W1
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
0xA100001F
W2
轴
CW
限位传感器检
测
W2
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA1000020
W2
轴
CCW
限位传感器
检测
W2
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
0xA1000021
W3
轴
CW
限位传感器检
测
W3
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA1000022
W3
轴
CCW
限位传感器
检测
W3
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
12
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000023
右侧基板传感器检测（前
通道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000024
左侧基板传感器检测（前
通道）
0xA1000025
减速传感器检测（前通
道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000026
到达传感器感知（前通
道）
0xA1000027
右侧基板传感器检测（后
通道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000028
左侧基板传感器检测（后
通道）
0xA1000029
减速传感器检测（后通
道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA100002A
到达传感器检测（后通
道）
0xA100002B
搬入过程中，搬出口传感
器感知
①由于基板到达传感器
未感知，导致基板到达
了搬出口。
②搬入过程中，搬出口
传感器发生了感知。
请检查搬出口一端
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
13
6
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA100002C
夹紧动作超时
①夹紧气缸的动作不
良。
②夹紧传感器的反应不
良。
③超时时间较短。
①请调整夹紧气缸使
其动作正确。
②请调整夹紧传感器
使其反应正确。
③请重新修改设定超
时时间。
0xA100002D
基板搬入动作超时
①搬送过程中，基板被
卡住了。
②超时时间较短。
①请将搬送间隙设定
大一些。
②请重新修改设定超
时时间。
0xA100002E
基板搬出动作超时
0xA100002F
基板搜索超时
0xA1000030
右基板传感器感知
①有基板。
②有异物。
③传感器的反应不良。
①请取出基板。
②请去除异物。
③请调整传感器使其
反应正常。
0xA1000031
左基板传感器感知
0xA1000032
基板传感器（
Head
）感
知
0xA1000033
基板传感器（
Head
左）
感知
0xA1000034
基板传感器（
Head
右）
感知
0xA1000035
支撑
1
动作超时
①支撑未被连接。
②支撑气缸的动作不
良。
③支撑传感器的反应不
良。
④超时时间较短。
①请连接支撑，确认
动作正常。
②请调整使支撑气缸
动作正常。
③请调整使支撑传感
器反应正常。
④请重新修改设定超
时时间。
0xA1000036
支撑
2
动作超时
0xA1100000
检测到输送带轴的错误信
号
检测到输送带轴的错误
信号。
如果重新接通装置电
源后情况仍未改善，
请咨询本公司服务窗
口。
0xA1100001
检测到输送带轴的
FSSTOP
信号
检测到输送带轴的紧急
停止信号。