RV-2_使用说明书 - 第445页

第 7 章选配 7- 5. 基板支撑 19 7 7-5- 2. 使用和未使用的切换基板的进深小，想要将基板支撑夹具切换为未使用时，可按照以下操作切换为未使用。 1 将用户级别设为［维护］，选择［维护］的［制造商设定］。 2 取消勾选［装置选配设定］的［支撑］。

第 7 章选配

7-5. 基板支撑

支撑夹具是用于补正基板弯曲的机构。有助于获得稳定的图像。

基板进深（D 尺寸）较大时，可以安装在搬送部的中央附近使用，来补正基板的弯曲。

不支持与图示相反方向的基板弯曲。

7-5-1. 安装和机种的切换

为了防止宽度调整中检测到有异常干扰物，在机种切换前，请如下述所示，将基板支撑夹具从搬送部移

动到身边一侧。此外，配线和配管，也要注意不会在宽度调整时钩到。

机种切换的宽度调整完成后，请配置到搬送部的中央附近。

第 7 章选配

7-5. 基板支撑

7-5-2. 使用和未使用的切换

基板的进深小，想要将基板支撑夹具切换为未使用时，可按照以下操作切换为未使用。

1 将用户级别设为［维护］，选择［维护］的［制造商设定］。

2 取消勾选［装置选配设定］的［支撑］。

第 7 章选配

7-5. 基板支撑

7-5-3. 维护

请确认支撑海绵上没有凸起的损伤和脏污。如果损伤或脏污严重，请予以更换。

海绵部分

突起

支撑单元