FUJI错误代码查询 - 第3865页

Code: 80009167 Display: 现在不使用此错误编码 Used by: NXT,AIM Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。 ------------------------------ Code: 80009168 Display: 增益切换失败 Used by…

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Cause: [ MWU固件(2) ] SY轴还没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009162
Display: SY轴的错误复位未实施
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] SY轴在进行错误复位之前，执行了Dam系列的指令。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009163
Display: SY轴动作一致等待超时
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在SY轴的伺服动作的一致等待中发生了超时。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009164
Display: 数据变量が未实装
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在执行SY轴进行数据参照而动作的Dam系列的指令的时候，不能够参照数据。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009165
Display: 来自SY轴伺服的错误响应
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 来自SY轴伺服的错误响应。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009166
Display: 不能够Dam发布
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于SY轴，不能够Dam发布。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009167
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009168
Display: 增益切换失败
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] SY轴的增益切换失败了。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009169
Display: 有可能干涉
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 对于SY轴，有可能干涉。
( 补充编码 )
Remedy: 1．请重新按一下开始按钮。
2．通过1的方法不能解除异常时，请重新接通电源。
3．通过1，2的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916A
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916B
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916C
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916D
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
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Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916E
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 8000916F
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009170
Display: 筒夹干涉检查异常
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 在筒夹干涉检查时，检出了远远超出晶圆的范围的移动目标。
( 补充编码 子错误编码表示料槽号码。 )
Remedy: 请执行以下的1～4的步骤。
1.请确认Job的外形数据的Length,Width等是否没有问题。
如果Job中没有问题，请确认晶圆图表的指定中没有错误。
2.请再次按下启动按钮。
3.重新启动后，请进行参考的重新设定。
4.通过1，2，3的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司Support联系。
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Code: 80009171
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009172
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009173
Display: 现在不使用此错误编码
Used by: NXT,AIM
Cause: [ MWU固件(2) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy: 通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司Support联系。
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Code: 80009174
Display: 现在不使用此错误编码
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