FUJI错误代码查询 - 第4396页

关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 ) Remedy: MWU12i：请再启机器后重新处理。 关于错误的详细内容，请确认子码的内容。 ------------------------------ Code: 8000F4EE Display: 元件旋转方向偏移量异常 Used by: NXT,AIM Cause: MWU12i：利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量超过公差值。(补充编码 ) Remedy: MWU12i：晶圆整体倾斜…

100%1 / 5282
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F4DD
Display: 分辨率测定定位点处理 数据异常（晶圆供料机）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：登录分辨率的测定定位点失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F4E2
Display: 晶圆喂料机的alignment mark影像处理异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：对wafer table的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进行影像处理时出现失败。
异常可能是由以下原因所造成的。·mark受污染。·mark出现变形。·影像太亮或太暗。·mark超出扫描区域。(
补充编码 )
Remedy: MWU12i：请对wafer table的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进行查看。如果受到污染
，则请进行清扫。·如果影像太亮或太暗，则需要对光源进行调节。因此，请联系售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F4E3
Display: alignment mark登录异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：alignment mark登录失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i： 请确认子错误编码。·请重启电源。如果还是发生错误，则有可能是MWU的相机出现了通信异
常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
------------------------------
Code: 8000F4EA
Display: 料盘接合片定位点识别错误
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的影像处理失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。　因为污垢等影响不能进行识别时，请进行清扫。　影像处理错误的详细内容
，请确认子编码内容。
------------------------------
Code: 8000F4EB
Display: 料盘接合片定位点影像处理数据异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：料盘接合片定位点的识别数据的登录失败了。　( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请重新启动机器进行修正处理。错误的详细内容，请确认子编码内容。
------------------------------
Code: 8000F4EC
Display: 晶圆转接器定位点影像处理异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆转接器定位点影像处理失败了。
关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等的影响没能识别时请清扫。
关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F4ED
Display: 晶圆转接器定位点的数据登录异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆转接器定位点登录处理失败了。可认为是以下原因。
·数据初始化失败
·数据消去失败
第 4395 页
关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请再启机器后重新处理。
关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F4EE
Display: 元件旋转方向偏移量异常
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量超过公差值。(补充编码 )
Remedy: MWU12i：晶圆整体倾斜时，为了使元件的倾斜度不超出公差范围，请调整补充晶圆的角度。
只有对象裸芯片倾斜时，为了从倾斜度较小的裸芯片开始拾取，请重新设置拾取开始点。
------------------------------
Code: 8000F4F0
Display: 热补正定位点影像处理发生异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点的影像处理失败。关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请确认错误影像。请在因污垢的影像无法识别影像时进行清扫。关于影像处理错误的详细情况请
确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F4F1
Display: 热补正定位点数据登录异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：热补正定位点登录处理失败。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：请在重启机器后重新处理。关于错误的详细内容，请确认子码的内容。
------------------------------
Code: 8000F501
Display: EX轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴没有进行伺服Wake
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F502
Display: 未实施EX轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F503
Display: EX轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴的伺服动作的一致等待超时了
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F504
Display: 未实装数据变数（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴在参照数据并实行动作Dam系列的指令时，不能参照数据
( 补充编码 )
Remedy:
第 4396 页
------------------------------
Code: 8000F505
Display: EX轴错误(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息0019：超负荷(瞬间最大负荷) 0022：译码器
数据报警)
Remedy: MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。【伺服错误编码为19(超负荷
(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错误编码为22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器
和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述1、2之后仍然不能消除异常，则请收集
出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。
------------------------------
Code: 8000F506
Display: 不能排放Dam（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行与EX轴相关的Dam排放
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F508
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F509
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EX轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F50A
Display: EX轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F511
Display: EY轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴没有进行伺服Wake。
( 补充编码 )
Remedy:
------------------------------
Code: 8000F512
Display: 未实施EY轴的错误复位（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：EY轴在错误复位之前，实行了Dam系列的指令
( 补充编码 )
第 4397 页