FUJI错误代码查询 - 第4410页

之后，请重启运转。 （１-２） 再次发生异常时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。 汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。 （２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。 汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。 （３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调整或者更换。 IO操作 进行夹紧时 输出 NY036：晶…

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( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F627
Display: 晶圆托架·晶圆识别检测异常(晶圆供料装置)
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i:晶圆托架·晶圆的高度测定或者识别失败了。(补充编码)
Remedy: MWU12i：1．为了消除误检测，请取出在生产中不使用的晶圆托架后重新开始运转。2.在1.不能改善的时
候，请临时取下晶圆料盘箱，再次安装后重新开始运转。由上述对策不能解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪
数据并与敝公司的Support联系。
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Code: 8000F628
Display: 增益切换失败（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴的增益切换失败了
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F629
Display: 存在干涉的危险（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：SZ轴存在干涉的危险
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F62A
Display: SZ轴伺服行程异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：现在未使用此错误编码
( 补充编码 )
Remedy:
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Code: 8000F650
Display: 晶圆夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F651
Display: 晶圆放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F652
Display: 晶圆X方向定位夹紧异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：托盘的定位夹紧或者托盘有无确认失败了。请将晶圆托盘安装在料盘箱内后重启运转。( 补充编码
晶圆拉出状态时，认为是晶圆托盘左右的料槽安装错误。请将晶圆托盘正确可靠地返回到料盘箱后，重启运转。 )
Remedy: MWU12i：（１）晶圆托盘处于拉出状态时
（１-１）请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。
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之后，请重启运转。
（１-２）
再次发生异常时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的IO进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作是否正确。
汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。
（３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调整或者更换。
IO操作
进行夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=OFF
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=OFF
输入(有晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=ON
输入(无晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=OFF
进行松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(前面)=ON
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Code: 8000F653
Display: 晶圆X方向的定位松开异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：不能进行晶圆X方向的定位夹紧的松开。
动作时间过长时也出现此错误。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：（１）：请确认气压供应值是否正常。
（２）：请通过以下的IO进行晶圆Ｘ方向的定位夹紧－松开操作，确认动作是否正常。
要松开时
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF
输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=OFF
输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(跟前)=ON
要夹紧时
输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON
输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF
输入 NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON
输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=ON
输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=OFF
输入 NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(跟前)=ON
汽缸驱动部上有异物等时可能出现胶着状态。
（３）：不能通过1,2项解除异常时，认为可能是传感器异常或者汽缸故障，请进行调整和更换。
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Code: 8000F654
Display: Q台夹紧异常（晶圆供应装置）
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Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F655
Display: Q台放松异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause:
Remedy:
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Code: 8000F656
Display: 晶圆拉出异常（晶圆供应装置）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆的拉出失败了。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：子错误编码显示没有反映的到达端传感器。
　０：左
　１：右
　２：双方
（１）：请在晶圆进入平台前端的状态下，确认晶圆到达端传感器的IO是否正常反映。
输入 NX033：晶圆到达确认（左）=ON
输入 NX035：晶圆到达确认（右）=ON
（２-１）：传感器正常反应时，请将晶圆推入料盘箱安装，直到顶住里面的挡块。
之后请重新开始运转。
（２-２）：传感器没有反应时，可考虑是传感器的异常·故障，需要进行调整·更换。
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Code: 8000F657
Display: 晶圆高度测定BKT上升异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未到达上升位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：请以下的IO进行晶圆测定BKT上升-下降的操作并确认动作是否正常。
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
输入 NX02D：晶圆高度测定BKT上升端确认=ON
下降时输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入NX02E：晶圆高度测定BKT下降端=ON
有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。
(3)：如果执行1、2仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。
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Code: 8000F658
Display: 晶圆高度测定BKT下降异常（晶圆供应设备）
Used by: NXT,AIM
Cause: MWU12i：晶圆高度测定传感器BKT未达到下降位置。( 补充编码 )
Remedy: MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。
(2)：用以下的IO进行晶圆测定BKT下降-上升的操作并确认动作是否正常。
下降时输出 NY049：晶圆高度测定BKT下降=ON
输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=OFF
输入 NX02E：晶圆盖度测定BKT下降端=ON
上升时输出 NY048：晶圆高度测定BKT上升=ON
输出NY049：晶圆高度测定BKT下降=OFF
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