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PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 1 空圧制御部( 基板搬送部) PNEUMATIC S YSTEM SECT.(P. C.B.TRANSFER SECT.) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 1081103400 P.C BOARD TRA NSFER UNIT ｷﾊﾞ ﾝﾊﾝｿｳﾕﾆｯﾄ 1 401 1081103401 MAIN FRAM…