HT121 (Mechanical20111025) - 第215页
PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 1 空圧制御部( 真空ﾎﾟﾝ ﾌﾟ部) PNEUMATIC S YSTEM SECT.(VA CUUM PUMP SE CT.) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 1081103300 VACUUM PUMP U NIT ｼﾝｸｳﾎ ﾟﾝﾌﾟﾕﾆｯﾄ TM-136-8(7018) 4 N301 N982TM70…
空圧制御部(真空ﾎﾟﾝﾌﾟ部)
PNEUMATIC SYSTEM SECT.(VACUUM PUMP SECT.)
1
F10811-03-300-AB_B
P5
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART NAME
REMARKS
Q'TY
1
空圧制御部(真空ﾎﾟﾝﾌﾟ部)
PNEUMATIC SYSTEM SECT.(VACUUM PUMP SECT.)
部 品 名 品 番 個数
備 考
R
1
R
2
1 1081103300
VACUUM PUMP UNIT ｼﾝｸｳﾎ
ﾟﾝﾌﾟﾕﾆｯﾄ
TM-136-8(7018)
4
N301
N982TM7018
RUBBER LEG ｺﾞﾑｱｼ
M30851-17-931 S
1
N302
N452KHA4-047
VACUUM PUMP ｼﾝｸｳﾎﾟﾝﾌﾟ
BU3/4X1/4
1
N303
N431BU0602
FITTING ﾌ
ﾞｯｼｭ
S-25
1
N304
N434S25
TUBE ﾁｭｰﾌ
ﾞ
SGT-W4-25-40/9
2
N305
N462SGTW-003
BAND ﾊﾞﾝﾄﾞ
JHN27-3/4
1
N306
N431JHN2706
FITTING ﾂｷﾞﾃ
T-3/4
1
N307
N431T06
FITTING ﾂｷ
ﾞﾃ
BU3/4X3/8
1
N308
N431BU0603
BUSHING ﾌﾞｯｼｭ
JKN-3/8
2
N309
N431JKN03
FITTING ﾆｯﾌﾟﾙ
R3/8B
1
N310
N413R03B
VALVE ﾊﾞﾙﾌﾞ
P6
F10811-03-300-AB_B
空圧制御部(基板搬送部)
PNEUMATIC SYSTEM SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.)
1
F10811-03-400-AG_A
P7