HT121 (Mechanical20111025) - 第218页
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PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART NAME
REMARKS
Q'TY
1
空圧制御部(基板搬送部)
PNEUMATIC SYSTEM SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.)
部 品 名 品 番 個数
備 考
R
1
R
2
1 1081103400
P.C BOARD TRANSFER UNIT ｷﾊﾞ
ﾝﾊﾝｿｳﾕﾆｯﾄ
1
401 1081103401
MAIN FRAME ﾒｲﾝﾌﾚｰﾑ
TU0425B
1
N401
N434TU0425B
TUBE ﾁｭｰﾌﾞ
TU0425Y
1
N402
N434TU0425Y
TUBE ﾁｭｰﾌ
ﾞ
TU0604B
1
N403
N434TU0604B
TUBE ﾁｭｰﾌ
ﾞ
TU0604Y
1
N404
N434TU0604Y
TUBE ﾁｭｰﾌﾞ
VV5Q14-03-X142
1
N405
N415VV5Q-872
MANIFOLD W/SOLENOID VALVE ﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞﾃﾞﾝｼﾞﾍﾞﾝ
AN103-X233
4
N406
N418AN10-006
SILENCER ｻｲﾚﾝｻ
KQ2R04-06
6
N407
N431KQ2R0406
FITTING ﾂｷ
ﾞﾃ
KQ2U04-00
2
N408
N431KQ2U0400
FITTING ﾂｷﾞﾃ
KQ2U06-00
2
N409
N431KQ2U0600
FITTING ﾂｷﾞﾃ
SY5320-5LU-C6-F2
2
N410
N411SY53-915
SOLENOID VALVE ｿﾚﾉｲﾄ
ﾞﾊﾞﾙﾌﾞ
JKC6-01A1.0
2
N411
N406JKC6-134
SPEED CONTROLLER ｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
KQ2H06-01S
2
N412
N431KQ2H-255
FITTING ﾊｰﾌﾕﾆｵﾝ
AN101-01
2
N413
N418AN10101
SILENCER ｻｲﾚﾝｻ
AS2001F-06
4
N414
N406AS20-048
SPEED CONTROLLER ｽﾋﾟ
ｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
P8
F10811-03-400-AG_A
Notice / 声明 / おことわり
The contents of this document are subject to
change without prior notification.
本说明书内容如有变更恕不事前通告，敬请谅解。
本説明書の内容を予告なく変更する場合があります
ので、あらかじめご了承ください。
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A
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