JUKI_KE-3010A_MAINTE_CH.pdf - 第98页
维修调整要领书 3-2 3-1 -2 ． 过滤器的更换 ・ 贴装头过滤器的更换 1 ） 按照 3-1-1 的 1 ）操作顺序卸下贴装头左盖。 2 ） 先拆卸① cap （× 2 ），再拆卸过滤器箱 U 。 （过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。） 3 ） 取出过滤器并进行更换。 4 ） 装配请按相反的步骤进行。 5 ） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。 3-1 -3 ． 大气开放用过滤器的更换…
维修调整要领书
3-1
3
贴装头周边部件
3-1．
电磁阀零件的更换
降低主体的原压力，进行更换。
3-1-1．
电磁阀的更换
1） 拆下②带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2） 先拆下③带垫片内六角螺栓（×2）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸④盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ④盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
XY 轴使用了非常强力的磁铁。
危险
紧固扭矩：
0.15±0.02N·m
③ 带垫片内六角
螺栓（×2）
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
贴装头护罩
④ 盆头螺钉（×2）
真空破坏用的电
磁阀
真空发生用的电磁阀
维修调整要领书
3-2
3-1-2．
过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头左盖。
2） 先拆卸① cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
3） 取出过滤器并进行更换。
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3．
大气开放用过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）、2）操作顺序卸下贴装头左盖、贴装头护罩。
2） 拧松③带垫片内六角螺栓（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松带垫片内六角螺栓就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ③带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
①cap （×2）
贴装头过滤器
③带垫片内六角螺栓
（×2）
②带垫片内六角螺栓
（×4）
大气开放用过滤器
维修调整要领书
3-3
3-2．
坏标记传感器的更换（选购品）
图 3-2-1 坏标记传感器的更换
3-2-1．
传感器部
光纤请使用附属的螺母、垫片，固定为图示的尺寸后，装上镜头。
HMS_BR_V2
螺母
M3×6 带垫片内
六角螺栓（×2）
BM 架
垫圈
螺母
光纤镜头
M3×5 带垫片内
六角螺栓（×2）