JUKI JX-300LED - 第253页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-13 下列部件的耗损，可能导致压力降低。 <消耗部件表> 更换部件组件的件号：40099554 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检 吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检 排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检 O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检 O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检 密…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-12
1）根据正面的表，确真空运的真空。
*
没有行真空运作。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
检查项目
3-2-11 真空泵（选购项）
实施频度 ：参见下面
检查内容 检查压力
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-13
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组件的件号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线束(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④束 (M4×8)拆下来。
4)把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线束。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
②
③
④
①
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-14
○密封圈的更换
1）取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）
内六角螺栓(M5×20)。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
○
更换 O 环 S-67
用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
将碗形密封气缸上部的 O 环 S-67，换上新的 O 环。
请将固定泵头护罩用的 M5×20，以 5.0N・m 对角拧紧。
○
更换 O 环 P-10
用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
在连接泵头护罩之间的连接管上，每 1 根上装有 2 个 0 环。
请更换涂抹有真空润滑油的新配件。
请将固定泵头护罩用的 M5×20，以 5.0N・m 对角拧紧
※安装连接泵头护罩之间的连接管时，请确认 0 环上涂抹了真空润滑油，
请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。
泵头护罩
密封圈
泵头盘
2）取下泵头护罩内测的黑色密封圈，
共 2 个，更换上新的密封圈。