OM-1077-002 - 第192页
Tg0531-PM-SO 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 6f1301 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常( 動作前) 引き出し動作異常 6f1302 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常( 動作中) 引き出し動作異常 6f1303 6f1401 トレイ 1 パレット 引き出し動作開始時パ…

Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f0202 トレイ 1 プリチェック異常 L2軸の原点復帰が完了していません
6f0203 トレイ 1 プリチェック異常 トラバースTV軸の原点復帰が完了していません
6f0204 トレイ 1 プリチェック異常 エレベータ EV 軸の原点復帰が完了していません
6f0205 トレイ 1 プリチェック異常
6f0206 トレイ 1 プリチェック異常
6f0207 トレイ 1 プリチェック異常
6f0601 トレイ 1 インターロック
6f0602 トレイ 1 インターロック
6f0603 トレイ 1 インターロック
6f0604 トレイ 1 インターロック
6f0605 トレイ 1 インターロック
6f1001 トレイ 1 システム異常
6f1002 トレイ 1 供給動作異常
6f1003 トレイ 1 供給動作異常
6f1004 トレイ 1 供給動作異常
6f1005 トレイ 1 供給動作異常
6f1101 トレイ 1 パレット戻し動作異常 エレベータ移動位置異常
6f1102 トレイ 1 パレット戻し動作異常 エレベータ動作異常
6f1103 トレイ 1 パレット戻し動作異常
6f1201 トレイ 1 パレット戻し動作異常 戻し動作開始時パレット無し
6f1202 トレイ 1 パレット戻し動作異常 プリチェック異常
6f1203 トレイ 1 パレット戻し動作異常 トラバース動作異常
6f1204 トレイ 1 パレット戻し動作異常 戻し動作終了時パレット無し
6f1205 トレイ 1 パレット戻し動作異常
0309-002 4-48
2.3.3 異常表示と復帰方法

Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f1301 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1302 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1303
6f1401 トレイ 1 パレット 引き出し動作開始時パレット無し
引き出し動作異常
6f1402 トレイ 1 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1403 トレイ 1 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1404 トレイ 1 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1405 トレイ 1 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1406 トレイ 1 パレット 引き出し動作終了時パレット無し
引き出し動作異常
6f1407 トレイ 1 パレット
引き出し動作異常
6f1501 トレイ 1 エレベータ 交換位置移動異常(動作前)
交換位置移動異常
6f1502 トレイ 1 エレベータ 交換位置移動異常(動作中)
交換位置移動異常
6f1503 トレイ 1 エレベータ
交換位置移動異常
6f1601 トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (0101)
6f1602 トレイ 1 フィーダ パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませんで
原点復帰動作異常 した。(0201)
6f1603 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレットを検
原点復帰動作異常 出しました。(0202)
6f1604 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0203)
原点復帰動作異常
6f1605 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレットの飛
原点復帰動作異常 び出しを検出しました。(0301)
6f1606 トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませんでし
原点復帰動作異常 た。(0302)
6f1607 トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませんでし
原点復帰動作異常 た。(0303)
6f1608 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0401)
原点復帰動作異常
6f1609 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検出でき
原点復帰動作異常 ませんでした。(0402)
6f160a トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検出でき
原点復帰動作異常 ませんでした。(0403)
6f160b トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした。引き出し履歴をクリア
原点復帰動作異常 しました。(BPS514)(0501)
0107-001 4-49
2.3.3 異常表示と復帰方法

Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f160c トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0601)
原点復帰動作異常
6f160d トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした。センサ異常。(BPS514)
原点復帰動作異常 (0701)
6f160e トレイ 1 フィーダ 所定時間以内にパレットを検出できませんでした。(0702)
原点復帰動作異常
6f160f トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0901)
原点復帰動作異常
6f1610 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0901)
原点復帰動作異常
6f1611 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(1101)
原点復帰動作異常
6f1613 トレイ 1 フィーダ パレットの飛び出しを検出しました。(1202)
原点復帰動作異常
6f1614 トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした
原点復帰動作異常
6f1615 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていないため、エレベータが
原点復帰動作異常 返却段に移動できませんでした。(1301)
6f1616 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(1302)
原点復帰動作異常
6f1617 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(1401)
原点復帰動作異常
6f1618 トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (1501)
6f1619 トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (1502)
6f161a トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1601)
6f161b トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1602)
6f161c トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1701)
6f161d トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が異常終了しました。(0304)
原点復帰動作異常
6f161e トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が異常終了しました。(1801)
原点復帰動作異常
6f161f トレイ 1 フィーダ L1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2000)
6f1620 トレイ 1 フィーダ L2 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2001)
6f1621 トレイ 1 フィーダ L1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2100)
6f1622 トレイ 1 フィーダ LL1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2100)
6f1623 トレイ 1 フィーダ トレイの戻り位置にトレイを検知しました。(1503)
原点復帰動作異常
6f1624 トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (2201)
0107-001 4-50
2.3.3 異常表示と復帰方法