OM-1077-002 - 第196页
Tg0531-PM-SO 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 70204 ト レイ２プリチェック異常 エレベータ E V1 軸の原点の原点復帰が完了していません 700205 トレイ２プリチェック異常 700206 トレイ２プリチェック異常 700207 トレイ２プリチェック異常 700601 トレイ 2 インターロック 700602…
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
700001 トレイ２動作異常 エレベータ動作中異常停止
700002 トレイ２動作異常 トラバース動作中異常停止
700003 トレイ２動作異常 ラックシャッター開オーバタイム
700004 トレイ２動作異常 ラックシャッター閉オーバタイム
700005 トレイ２動作異常 パレットチャック開オーバタイム
700006 トレイ２動作異常 パレットチャック閉オーバタイム
700101 トレイ２システム異常 トレイＮｏ．異常
700102 トレイ２システム異常 フィーダ No. 異常
700103 トレイ２システム異常 段 No. 異常
700104 トレイ２システム異常
700105 トレイ２システム異常
700106 トレイ２システム異常
700107 トレイ２システム異常
700108 トレイ２システム異常
700109 トレイ２システム異常
70010a トレイ２システム異常
70010b トレイ２システム異常
70010c トレイ２システム異常
70010d トレイ２システム異常
70010e トレイ２システム異常
70010f トレイ２システム異常
700201 トレイ２プリチェック異常 L1 軸の原点の原点復帰が完了していません
700202 トレイ２プリチェック異常 L2 軸の原点の原点復帰が完了していません
700203 トレイ２プリチェック異常 トラバース TV1 軸の原点の原点復帰が完了していません
0107-001 4-52
2.3.3 異常表示と復帰方法
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
70204 トレイ２プリチェック異常 エレベータ EV1 軸の原点の原点復帰が完了していません
700205 トレイ２プリチェック異常
700206 トレイ２プリチェック異常
700207 トレイ２プリチェック異常
700601 トレイ 2 インターロック
700602 トレイ 2 インターロック
700603 トレイ 2 インターロック
700604 トレイ 2 インターロック
700605 トレイ 2 インターロック
701001 トレイ２供給動作異常
701002 トレイ２供給動作異常 引き出し中トレイ段 No. 不一致(戻し動作)
701003 トレイ２供給動作異常 引き出し中トレイ段 No. 不一致(戻し動作)
701004 トレイ２供給動作異常 動作モード不正(system)
701005 トレイ２供給動作異常 TV 軸位置不定
701101 トレイ２パレット戻し動作異常
701102 トレイ２パレット戻し動作異常 エレベータ移動位置異常
701103 トレイ２パレット戻し動作異常 エレベータ動作異常
701201 トレイ２パレット戻し動作異常 戻し動作開始時パレット無し
701202 トレイ２パレット戻し動作異常 プリチェック異常
701203 トレイ２パレット戻し動作異常 トラバース動作異常
701204 トレイ２パレット戻し動作異常 戻し動作開終了時時パレット無し
701205 トレイ２パレット戻し動作異常
701301 トレイ２パレット エレベータ引き出しレベル移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
701302 トレイ２パレット エレベータ引き出しレベル移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
0107-001 4-53
2.3.3 異常表示と復帰方法
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
701303
701401 トレイ 2 パレット 引き出し動作開始時パレット無し
引き出し動作異常
701402 トレイ 2 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
701403 トレイ 2 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
701404 トレイ 2 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
701405 トレイ 2 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
701406 トレイ 2 パレット 引き出し動作終了時パレット無し
引き出し動作異常
701407 トレイ 2 パレット
引き出し動作異常
701501 トレイ 2 エレベータ 交換位置移動異常(動作前)
交換位置移動異常
701502 トレイ 2 エレベータ 交換位置移動異常(動作中)
交換位置移動異常
701503 トレイ 2 エレベータ
交換位置移動異常
701601 トレイ 2 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんで
原点復帰動作異常 した。(0101)
701602 トレイ 2 フィーダ パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませ
原点復帰動作異常 んでした。(0201)
701603 トレイ 2 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレット
原点復帰動作異常 を検出しました。(0202)
701604 トレイ 2 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0203)
原点復帰動作異常
701605 トレイ 2 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレッ
原点復帰動作異常 トの飛び出しを検出しました。(0301)
701606 トレイ 2 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませ
原点復帰動作異常 んでした。(0302)
701607 トレイ 2 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませ
原点復帰動作異常 んでした。(0303)
701608 トレイ 2 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0401)
原点復帰動作異常
701609 トレイ 2 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検
原点復帰動作異常 出できませんでした。(0402)
70160a トレイ 2 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検出
原点復帰動作異常 できませんでした。(0403)
70160b トレイ 2 フィーダ パレットを検出できませんでした。引き出し履歴を
原点復帰動作異常 クリアしました。(BPS514)(0501)
70160c トレイ 2 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0601)
原点復帰動作異常
70160d トレイ 2 フィーダ パレットを検出できませんでした。センサ異常(BPS514)
原点復帰動作異常(0701)
0107-001 4-54
2.3.3 異常表示と復帰方法