OM-1077-002 - 第31页

Tg0531-PM-SO 4.2 装置保護センサ 4.2.4 4.2.4 4.2.4 4.2.4 4.2.4 [ [ [ [ [ トラバース側ラックシャッタ確認 トラバース側ラックシャッタ確認 トラバース側ラックシャッタ確認 トラバース側ラックシャッタ確認 トラバース側ラックシャッタ確認 ] ] ] ] ] センサ センサ センサ センサ センサ ラックシャッタの開閉確認を行います。 0203-002 29 • ラックシャッタ開動作時に…

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Tg0531-PM-SO
4.2 装置保護センサ
4.2.34.2.3
4.2.34.2.3
4.2.3
[[
[[
[
戻り位置パレット無し検出戻り位置パレット無し検出
戻り位置パレット無し検出戻り位置パレット無し検出
戻り位置パレット無し検出
] ]
] ]
]
センサセンサ
センサセンサ
センサ
引き出し、戻し時のパレットの有無確認を行います。
左記センサ内1つでも異常を検出した場合は、次
のように処理されます。
パレット引出し時にどちらか一方のセンサが無
し状態で異常となります。
パレット戻し時にどちらか一方のセンサが有り
状態で異常となります。
[戻り位置パレット無し検出
右] センサ
[戻り位置パレット無し検出
左] センサ
BPH520
BPH521
センサ名センサ名
センサ名センサ名
センサ名
Fig. X24Fig. X24
Fig. X24Fig. X24
Fig. X24
0309-003 28
Table X11
$2*
$2*
#..
4'#&;
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*1/'
215+6+10 219'4
'.'8
Tg0531-PM-SO
4.2 装置保護センサ
4.2.44.2.4
4.2.44.2.4
4.2.4
[[
[[
[
トラバース側ラックシャッタ確認トラバース側ラックシャッタ確認
トラバース側ラックシャッタ確認トラバース側ラックシャッタ確認
トラバース側ラックシャッタ確認
] ]
] ]
]
センサセンサ
センサセンサ
センサ
ラックシャッタの開閉確認を行います。
0203-002 29
ラックシャッタ開動作時に開確認できない場合
に異常となります。
ラックシャッタ閉動作時に閉確認できない場合
に異常となります。
[トラバース側ラックシャッタ
右開確認] センサ
[トラバース側ラックシャッタ
右閉確認] センサ
[トラバース側ラックシャッタ
左開確認] センサ
[トラバース側ラックシャッタ
左閉確認] センサ
BPS501
BPS502
BPS503
BPS504
センサ名センサ名
センサ名センサ名
センサ名
Fig. X25Fig. X25
Fig. X25Fig. X25
Fig. X25
Table X12
$25
$25
$25
$25
Tg0531-PM-SO
4.2.54.2.5
4.2.54.2.5
4.2.5
[[
[[
[
パレットチャック爪連結確認検出パレットチャック爪連結確認検出
パレットチャック爪連結確認検出パレットチャック爪連結確認検出
パレットチャック爪連結確認検出
] ]
] ]
]
センサセンサ
センサセンサ
センサ
パレットチャック爪とパレットが正しく連結されていない状態での
運転を防止します。
4.2 装置保護センサ
0309-003 30
パレットの引き出し、戻し動作時のパレット
の有無検出を行います。
引き出し時、引き出し中、戻し時にパレット
が検出できない場合異常となります。
[パレットチャック爪連結確
認] センサ
BPH514
センサ名センサ名
センサ名センサ名
センサ名
Fig. X26Fig. X26
Fig. X26Fig. X26
Fig. X26
Table X13