KE2020取扱説明書VER.2.01.和文Rev.08.pdf - 第608页
8 – 40 8-2-2-12- 2. バックアップテーブル バックアップテーブル バックアップテーブル バックアップテーブル 「バックアップテーブル」タブを選択すると，図 8-2- 2-9-2 の「バックアップテーブル」設定のダ イアログが表示されます。 図 図 図 図 8-2- 2-12-2 基板搬送の設定ダイアログ画面 基板搬送の設定ダイアログ画面 基板搬送の設定ダイアログ画面 基板搬送の設定ダイアログ画面 (1) 設定項目 …
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(2) 設定方法
① 延時間選択
ラジオボタンによりセンサ遅延時間の設定方法を変更します。
標準 全センサに対して共通の遅延時間設定を行います。
オプションセンサ 個別に遅延時間設定を行います。
② 遅延単位
ラジオボタンにより，遅延の単位を設定します。
”時間”を選択すると，基板搬送センサ遅延で設定した値を ms として扱い，遅延します。
”長さ”を選択すると，基板搬送センサ遅延で設定した値を mm として扱い，遅延します。
単位を切り替えると①の内容はクリアされます。
③ 基板搬送センサ遅延時間
・ 各入力フィールドには以下に示すセンサ遅延時間を設定します。
a.
“標準”を選択時には、全てのセンサＯＦＦを確定する為のＯＦＦ時間
b.
“オプション”を選択時には、各センサＯＦＦを確定する為のＯＦＦ時間
c. “再クランプ時のＳＴＯＰセンサ ＯＦＦ”は再クランプのＳＴＯＰセンサＯＦＦ
検知まで逆転時の連続ＯＦＦ時間
・ “標準”及び“オプション”は下記の範囲で設定できます。(デフォルト値は 0)
a. 単位が時間の時
0∼2500ms(MSP の設定が 400mm/s の場合)
0∼3300ms(MSP の設定が 300mm/s の場合)
b. 単位が長さの時
0.00∼1000. 00mm
・ “再クランプ時のＳＴＯＰセンサ ＯＦＦ”は下記の範囲で設定できます。
(デフォルト値は 0)
a. 単位が時間の時
0∼5000ms
b. 単位が長さの時
0.00∼200. 00mm
④ Ready In 信号遅延時間
・0∼3００の値で設定ができます。（デフォルト値は０）
・ 単位は，sec 固定
注意
注意注意
注意 :
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8-2-2-12-2.バックアップテーブル
バックアップテーブルバックアップテーブル
バックアップテーブル
「バックアップテーブル」タブを選択すると，図 8-2-2-9-2 の「バックアップテーブル」設定のダ
イアログが表示されます。
図
図図
図 8-2-2-12-2
基板搬送の設定ダイアログ画面
基板搬送の設定ダイアログ画面基板搬送の設定ダイアログ画面
基板搬送の設定ダイアログ画面
(1) 設定項目
No. 項目 設定する内容
1 基板下制限 バックアップテーブルの基板下制限を設定します。
2 下降 加速度 バックアップテーブルの加速度を設定します。
3 押し込み量 バックアップテーブルの押し込み量を設定します。
（2）設定方法
① 基板下降制限
・ ５∼３０の値で設定ができます。
・ 単位は、ｍｍ固定
② 下降 加速度
・ ラジオボタンにより，低中高の３段階で設定ができます。（デフォルト値は，高）
③ 押し込み量
・ ０.００∼５.００の値で設定ができます。
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8-2-2-13. バキュームテーブル
バキュームテーブルバキュームテーブル
バキュームテーブル
バキュームテーブルを選択すると、図 8-2-2-13-1 のバキュームテーブル設定ダイアログが表示され
ます。
図
図図
図 8-2-2-13-1
バキュームテーブルの設定ダイアログ画面
バキュームテーブルの設定ダイアログ画面バキュームテーブルの設定ダイアログ画面
バキュームテーブルの設定ダイアログ画面
(1) 設定項目
No. 項目 設定する内容
1 ﾊﾞｷｭｰﾑ ON 遅延時間 ｸﾗﾝﾌﾟ時、STOP ｾﾝｻ ON からﾊﾞｷｭｰﾑ ON 開始までの時間
2 ｻﾎﾟｰﾄﾃｰﾌﾞﾙ上昇遅延時間 ｸﾗﾝﾌﾟ時、ﾊﾞｷｭｰﾑ ON 開始からﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ上昇開始までの時間
3 生産開始安定待ち時間 ｸﾗﾝﾌﾟ時、ﾊﾞｷｭｰﾑｾﾝｻ ON 検知時間
4 ﾌﾞﾛｰ ON 時間 ｸﾗﾝﾌﾟ解除時、ﾌﾞﾛｰ ON 時間
5 ｻﾎﾟｰﾄﾃｰﾌﾞﾙ下降遅延時間 ｸﾗﾝﾌﾟ解除時、ﾊﾞｷｭｰﾑｾﾝｻ OFF 検知からﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ下降開始ま
での時間
(2) 設定方法
直接キーボードから入力します。
・０∼１０００の値で設定ができます。
・単位は，ｍｓ固定。
・デフォルト値は、全て０ｍｓ。
L
オプション使用ユニットで「バキュームテーブル」未使用時は淡色表示となります。