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NPM-D 通用型转印装置 5.2 24 小时检查( 日常) MFTU-EJM1D C-MB-05N-00 Page 5-7 8 擦拭在转印台(表面、 背面)、 转印台安 置面、刮板以及刮刀装置上的转印材 料。 ∗ 请确认转印台安置面以及转印台背面 是否有污 垢。如果有污垢时，请擦拭干净。 ∗ 充分擦掉材料后，请用蘸了溶剂的纸 抹布擦拭 干净。 ∗ 在清扫以及检查结束后，请安装刮刀 装置、刮 板以及转印台。 ( ‘2.2 转印台 、 刮…
NPM-D
通用型转印装置
5.2
24 小时检查(日常)
Page 5-6 MFTU-EJM1DC-MB-05N-00
5
松开刮板的安装螺丝
(
2
处)。
=
注意
=
为了使得松开时左右均匀，请左右交互地松开。
用手无法松开时，也可以使用工具。
6
将刮板取下。
•
请注意刮板的角不要撞到转印台。另外，在使
用刮板时，请注意不要将物体撞到成膜部。若
成膜部受到损伤，则有可能无法安定地成膜。
MFTU-NPM-PIC010
刮板背面
成膜部
(边缘)
7
取下转印台
∗
要拆卸转印台时，请必须要将转印台的底座拉
到跟前位置处先拆卸掉刮板后才进行作业。
如在装有刮板的状态下拆卸转印台，则会对刮板
轴施加过度的力，可能会使刮板轴的调整乱掉。
MFTU-NPM-PIC019
刮板
MFTU-NPM-PIC018
转印台
转印台的底座
MFTU-NPM-PIC022
NPM-D
通用型转印装置
5.2
24 小时检查(日常)
MFTU-EJM1DC-MB-05N-00 Page 5-7
8
擦拭在转印台(表面、背面)、转印台安
置面、刮板以及刮刀装置上的转印材
料。
∗
请确认转印台安置面以及转印台背面是否有污
垢。如果有污垢时，请擦拭干净。
∗
充分擦掉材料后，请用蘸了溶剂的纸抹布擦拭
干净。
∗
在清扫以及检查结束后，请安装刮刀装置、刮
板以及转印台。
(
‘2.2
转印台、刮刀装置以及刮板的安装
’
)
9
用目视以及手感来确认刮刀是否有磨
损或损伤。
•
有磨损或损伤时，请更换刮刀。
(
‘5.2.3
刮刀的更换
’
)
MFTU-031P
MFTU-065P
MFTU-NPM-PIC029
MFTU-NPM-PIC010
MFTU-NPM-PIC009
转印台 (表面) 转印台 (背面) 转印台安置面
刮板 刮刀装置
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通用型转印装置
5.2
24 小时检查(日常)
Page 5-8 MFTU-EJM1DC-MB-05N-00
5.2.3
刮刀的更换
使用工具
六角扳手
需要时间
5
分钟
1
拧松
3
个螺栓。
•
六角扳手尺寸
2.5 mm
2
使刮刀横向滑动后取出。
3
安装新的刮刀。
•
使刮刀的端面与支架的端面对齐。
MFTU-NPM-PC102
刮刀装置
螺栓
MFTU-NPM-PIC103
MFTU-NPM-PIC104
支架
刮刀