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193-41 10 JUKYX 1-15 注 意 装置前面 エア源 真空系統 フィーダカート部 F4A6 (a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法については、 本章 “4. 点検、清掃、給油か所” 以降を参照してください。 (b) オプションについては、 各…
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JUKYX
1-14
ノズ ルストッカ 摺 動 部
清掃、給油 MP1
油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、給油 NM1
ノズ ルストッカ 摺 動 部 清掃、給油 MP1 油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、給油 NM1
フィル タ 清掃 -----
排 気ファン 清掃 -----
吸 気 ファン 清掃 -----
: バリエルタ IEL/V
X 軸 ケーブル 側 面 清掃、給油 IEL/V 油ウエス、ハケ
X 軸ケーブル 固定 か 所 点検 ----- -----
X 軸リニアスケール 清掃 ----- ウエス
Y 軸ケ ーブル 側 面 清掃、給油 IEL/V 油ウエス、ハケ
Y 軸ケ ーブル 固 定 か 所 点検 ----- -----
Y 軸リニアスケ ール 清掃 ----- ウエス
フッ 素 シ ート 交換 ----- ドライバ 、 レン チ
ウレタンクラン プ A s s y 交換 ----- ド ライバ 、 レン チ
フ ラットリング 交換 ----- ドライバ 、 レン チ、
トル クド ライバ
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JUKYX
1-16
(装置前面)
(装置後面)
ノズルストッカ部
基板位置決め部
ヘッド部
XYビーム部
部品認識カメラ部
カッタ部
フィーダベース駆動部
F4A7