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193-41 10 JUKYX 1-23 周期：3 か月ごと（所要時間：10 分） フィルタケース C フィルタ F4A17 手順 (1) 装置前面下部のカバーの固定ビス (4 本 ) を取外し、カバーを外す。 (2) フィルタケースを矢印 C の方向に回して取外し、中のフィルタを取外 す。 (3) フィルタにエアブローを行い清掃する。 ノート フィルタは、運転時の真空圧が低下してきた場…
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JUKYX
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周期：毎日（所要時間：1 分）
真空圧
F4A16
手順
真空圧を目視で確認してください。
真空バルブ全開時 ：Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上
運転時 ：Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上
ノート
真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空
ポンプの故障が考えられます。
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周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）
フィルタケース
C
フィルタ
F4A17
手順
(1) 装置前面下部のカバーの固定ビス (4 本 ) を取外し、カバーを外す。
(2) フィルタケースを矢印 C の方向に回して取外し、中のフィルタを取外
す。
(3) フィルタにエアブローを行い清掃する。
ノート
フィルタは、運転時の真空圧が低下してきた場合は、新品と交換し
てください。
(4) カバーを上に押し当てながら取付け、固定ビスを締める。
注
意
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注
意
部品認識カメラ (2か所)
毎日 清掃 所要時間:4分
バキュームピンセットで、落下した部品な
どを取除いてから、レンズクリーナクロス
で、ほこりを拭取ってください。
基準マークブロック