MSR服务手册.pdf - 第56页
MSR 服务手册 4.4 基板 搬送：上载导 轨·下载导轨 4.4-3 D14SCC- W 3-000-A0 10. 确认 XY 工作台与上载导 轨、下载导轨间 的固定 导轨的级差。 = 规格值 规格值 规格值 规格值 = 级差： 0.3mm 以内 = 确认 确认 确认 确认 = 请确认下游侧处于较低位置。 11. 再次 确认 XY 工作台与上 载导轨、下载导 轨间的 可动导轨的级差。 偏心 销 XY 工作台 下 载导轨 下 载导轨 0…
MSR
服务手册
4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
D14SCC-W3-000-A0 4.4-2
4.4.2 搬送导轨间级差的调整
搬送导轨间级差的调整搬送导轨间级差的调整
搬送导轨间级差的调整
相关Unit No.
搬送轨道间级差的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 塞尺
►搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整
1. 打开电源，进行返回原点。
2. 卸将副操作盘的“XY TABLE LOADER POS MOVE”
（XY工作台搬送高度位置移动）置于ON。
=确认
确认确认
确认=
请确认XY工作台的上升。
3. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的可动导轨的
级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：0.3mm以内
=确认
确认确认
确认=
请确认下游侧处于较低位置。
4. 在规格值之外时，旋松上载导轨可动导轨螺栓（3根）、
下载导轨可动导轨螺栓（3根）。
5. 旋松可动导轨偏心销的锁紧螺母。
6. 用可动导轨偏心销调整级差。
7. 旋紧锁紧螺母。
8. 旋紧上载导轨可动导轨螺栓、下载导轨可动导轨螺栓。
9. 进行上载导轨、下载导轨平面度的调整。
=参考
参考参考
参考=
请参照“4.4.3 搬送导轨平面度的调整”。
偏心
销
XY
工作台
上载导轨
下
载导轨
0.3mm
以内
标尺
皮
带
（级差）
上载导轨、下载导轨
上
载导轨
螺栓
偏心
销
、
锁紧
螺母
0.3mm
以内
XY
工作台
标尺
MSR
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
4.4-3 D14SCC-W3-000-A0
10. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的固定
导轨的级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：0.3mm以内
=确认
确认确认
确认=
请确认下游侧处于较低位置。
11. 再次确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的
可动导轨的级差。
偏心
销
XY
工作台
下
载导轨
下
载导轨
0.3mm
以内
标尺
皮
带
（级差）
上载导轨、下载导轨轨道
下
载导轨
螺栓
偏心
销
、
锁紧
螺母
0.3mm
以内
XY
工作台
标尺
MSR
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
D14SCC-W3-000-A0 4.4-4
4.4.3 搬送导轨平面度的调整
搬送导轨平面度的调整搬送导轨平面度的调整
搬送导轨平面度的调整
相关Unit No.
搬送导轨平面度的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
►搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整
1. 打开电源，进行返回原点。
2. 将磁性表架设置于XY工作台，将百分表针置于可动
导轨搬送皮带上面的A处。
3. 将百分表置零（基准）。
4. 使用XY工作台，将百分表移动至A~D的位置。
5. 确认平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm以内
6. 在规格值之外时，旋松上载导轨固定螺栓（6根）、
下载导轨固定螺栓（6根）。
7. 旋松偏心销的锁紧螺母。
8. 用偏心销调整平面度。
9. 旋紧锁紧螺母。
10. 旋紧上载导轨固定螺栓、下载导轨固定螺栓。
A
B
A
B
CD C D
XY
工作台
下
载导轨
上
载导轨
可
动导轨
固定
导轨