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SPG EJP6AC-MB-0 4MM-01 4-1-6 -5
SPG EJP6AC-MB-04MM-01
4-1-6-4
更
换
3
4
取下皮带
●向前拉出后取出。
●废弃之际，用钳子等
切断后再取下。
●取下前面与后面的2
个皮带。
安装新的皮带
●向里面推进。
●安装前面与后面的2个皮带。
SPG EJP6AC-MB-04MM-01
4-1-6-5
5
-1
各种传感器的动作确认
-1-1
• 基板检测传感器的动作确认
-1-2
• 清洁溶剂用完传感器
-1-3
• 真空传感器(选购件)
-2
设备维修保养
-2-1
• 设备维修保养信息的确认
-2-2
• 更新
-3
机器参数
-3-1
• 机器参数的校正
5
Maintenance
-1
各种传感器的动作确认
-1-1
基板检测传感器的动作确认
-1-2
清洁溶剂用完传感器
-1-3
真空传感器(选购件)
-2
设备维修保养
-2-1
设备维修保养信息的确认
-2-2
更新
-2-3
选项许可
-3
机器参数
-3-1
机器参数的校正
调整