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SPG EJP6AC-MB-0 5MM-00 9 10 设定值的输入 5-1-3 -3 各种 传感器的 动作确认 维修保养篇 5-1-3 真空传感器 （选购件） 2 卸下按钮保护盖 ●螺丝 (2 个 ) 按钮保护盖 按 ●当前的设定值和 交替显示。 SERVO ON ( 基板吸着转为 OFF) 16 17 18 (No.77)
SPG EJP6AC-MB-05MM-00
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5
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7
3
4
设定值的输入1
●安装基板吸着箱。
●准备没有弯曲的基板
（XY工作台返回原点位置）
（基板吸着箱开始吸着）
顺序
5-1-3-2
准备:
调
整
(No.18)
(在真空泵规格下，真空泵将
开始运转)
(No.77)
OFF
SERVO
●显示：
－6～－10 kPa。
载入基板前,
确认显示值
8
在基板吸着箱载入基板后,
确认显示值
●一般是,－80～－98 kPa。
●显示值为极端低数值的时候,
确认基板是否有弯曲。
(因为吸着箱和基板之间有间隙)
●显示值变小时，设定为比显示值
小10～20kPa的值。
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●在这项设定中，[－(负号)]表示真空压，数
值的大小请只以数字部分为准。
注意
SPG EJP6AC-MB-05MM-00
9 10
设定值的输入
5-1-3-3
各种
传感器的
动作确认
维修保养篇
5-1-3
真空传感器（选购件）2
卸下按钮保护盖
●螺丝(2个)
按钮保护盖
按
●当前的设定值和
交替显示。
SERVO
ON
(基板吸着转为OFF)
161718
(No.77)
SPG EJP6AC-MB-05MM-00
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●按 或者
进行变更。
（如果连续按,
会连续增减）
●出厂时,设定为「－70」。
调整到适当的生产基板的数值
5-1-3-4
按
调
整
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14
15
确认LED显示
是否是绿色
卸下基板,
确认LED显示
是否是红色
安装按钮保护盖
●螺丝(2个)
按钮保护盖
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