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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 58 2-9-2 传送· I/O 状态 显示传送信息、 I/O 各种传感器信息 (ON/ OFF 状态 ) 。 此外,在下图的 生产空运 行画面中,可以 执行基板 搬入 / 搬出等传 送运行。 从菜单栏中单击 「窗口」 / 「传送· I/O 状态」 ,显示 如下画面。 2-9-2-1 生产空运行中画面 图 2-9-3-1-1 传送 ・ I/O 状态 (生产 空运行 状态) ① 基板传送运行 …

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生产开始到结束的阶段区分及主要定义如下:
4) 生产管理信息的管理
①清除
生产管理信息可以用菜单栏的「窗口」/「生产管理信息」/「清除」来清除。
在生产管理信息的综合画面下部,显示有「清除」按钮。通过点击此按钮,可以清除各种生
产管理信息。
②生产管理信息的保存
退出生产后,可通过执行「文件」中的「保存」、「另存为」,按各文件分别保存生产管理信
息。
此外,退出生产时会出现提示,确认后保存该生产程序,从而保存生产管理信息。
●
运行时间
→ A
●
中途停止时间
→ B
●
维护保养时间
→ C+D
●
无胶粘剂停止时间
→ E
●
停止时间
→ B+C+D+E
A 生产(含传送时间)
生产开始
推出生产
B
临时停止按钮 ON
C
异常停止按钮 ON
D
错误发生(识别错误等)
E
无胶粘剂

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2-9-2 传送·I/O 状态
显示传送信息、I/O 各种传感器信息(ON/OFF 状态)。
此外,在下图的生产空运行画面中,可以执行基板搬入/搬出等传送运行。
从菜单栏中单击「窗口」/「传送·I/O 状态」,显示如下画面。
2-9-2-1 生产空运行中画面
图 2-9-3-1-1 传送・I/O 状态 (生产空运行状态)
① 基板传送运行(基板搬入/基板搬出/基板固定解除)
按下各按钮,显示如下讯息。
图 2-9-3-1-2 执行确认信息
选择“YES”,则轴移动到待机位置,开始基板搬入/搬出,或基板固定解除运行。
选择”NO”则设备不运行。

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② 传送个别控制
按下“个别控制”按钮,显示个别控制画面。
按下各按钮,进行开/关控制。
按下“支撑台”,则向“移动后坐标”的设定值方向移动。
图 2-9-3-1-3 个别控制
图 2-9-3-1-4 个别控制 (支撑台)
按下“退出”按钮, 结束个别控制。
结束时,将传送状态初始化。
2-9-2-2 生产进行中的画面
在生产进行中,不显示传送方向、基板厚度、传送运行命令和传送状态。
而只显示生产状态。
图 2-9-3-2-1 传送・I/O 状态(生产中)