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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 59 ② 传 送 个别控制 按下“个别控制 ”按钮, 显示个别控制画 面。 按下各按钮,进 行开 / 关控制。 按下“支撑台” ,则向“ 移动后坐标”的 设定值方 向移动。 图 2-9-3-1-3 个别 控制 图 2-9-3-1-4 个别 控制 ( 支撑台 ) 按下“退出”按 钮 , 结束 个别控制。 结束时,将传送 状态初始 化。 2-9-2-2 生产进行中的画面 在生产进行中, 不显示传…

第1部 基本篇 第2章 生产
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2-9-2 传送·I/O 状态
显示传送信息、I/O 各种传感器信息(ON/OFF 状态)。
此外,在下图的生产空运行画面中,可以执行基板搬入/搬出等传送运行。
从菜单栏中单击「窗口」/「传送·I/O 状态」,显示如下画面。
2-9-2-1 生产空运行中画面
图 2-9-3-1-1 传送・I/O 状态 (生产空运行状态)
① 基板传送运行(基板搬入/基板搬出/基板固定解除)
按下各按钮,显示如下讯息。
图 2-9-3-1-2 执行确认信息
选择“YES”,则轴移动到待机位置,开始基板搬入/搬出,或基板固定解除运行。
选择”NO”则设备不运行。

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② 传送个别控制
按下“个别控制”按钮,显示个别控制画面。
按下各按钮,进行开/关控制。
按下“支撑台”,则向“移动后坐标”的设定值方向移动。
图 2-9-3-1-3 个别控制
图 2-9-3-1-4 个别控制 (支撑台)
按下“退出”按钮, 结束个别控制。
结束时,将传送状态初始化。
2-9-2-2 生产进行中的画面
在生产进行中,不显示传送方向、基板厚度、传送运行命令和传送状态。
而只显示生产状态。
图 2-9-3-2-1 传送・I/O 状态(生产中)

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2-10 工具
2-10-1 操作选择
在主画面的「选择」/「操作选择」中仅显示与生产相关的项目。
在「生产」画面和「选择」画面的任一个画面设定,其结果均相同。
详细内容请参考“第 6 章 操作选择”。
2-10-2 自动基板宽调整
可以进行基板搬送宽度的调整。
选择「工具」/「自动基板宽调整」,将显示以下的画面。
图 2-10-2-1 自动调整基板宽度
1) 调整基板宽度
将搬送宽度移动为符合基板外形尺寸+余宽的合计宽度。传送时的搬送宽度值,适用以下
项目的设定值。