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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 76 1) 生产动作 显示生产开始前 处理画面 是搬入基板后生 产,还是 重夹后生产。 图 2-11-6-1-2 搬入基板 后生产 ・ 运行重 夹 后生产的选 择 选择「搬入基板后生产」时,若传送轨道上有 基板时搬出基板,生产开 始 时执行 搬入基板 后开始生产。 选择「运行重夹后生产」时,夹紧传送轨道上 的基板,生产开始时不执 行搬入基板就开始 生产。

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2-11-6-1 生产开始前的处理
生产开始前的处理,显示以下画面。
图 2-11-6-1-1 生产开始前处理画面
按<START>开关,开始执行选择的动作。
按<STOP>开关,返回生产空运行状态。

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1)生产动作
显示生产开始前处理画面是搬入基板后生产,还是重夹后生产。
图 2-11-6-1-2 搬入基板后生产・运行重夹后生产的选择
选择「搬入基板后生产」时,若传送轨道上有基板时搬出基板,生产开始时执行搬入基板
后开始生产。
选择「运行重夹后生产」时,夹紧传送轨道上的基板,生产开始时不执行搬入基板就开始
生产。

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● 根据传送轨道上有基板还是没有基板、生产中断时传送轨道的信息状态明确还是不明确,有时重启生
产对话框的生产动作不能进行选择。如下表所示。
表 2-11-6-1-1 生产动作选择一览表
传送轨道上
的基板
生产中断时的
传送轨道信息
生产动作的选择
搬入基板后生产 运行重夹后生产
有 有基板 不可见 可见
无基板 可见 不可见(注)
无信息 可见 可见
无 有基板 可见 可见
无基板 可见 不可见(注)
无信息 可见 可见
(注)新生产时为不可见(不能选择),继续生产时为可见(可以选择)。
2)传送轨道上的状态
在生产开始前处理画面,显示传送轨道的状态。
有无基板通过停止传感器的 ON/OFF 进行判断。
图 2-11-6-1-3 生产开始预处理对话框 (传送中途状态)