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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 88 2-11-8 气压下降 在生产动 作中或暂停中检测 到气压下降时,显示 以下的画面, 现在正在生产的 基板被强制 结束。 图 2-11-8-1 气压 下降(生 产 中、 暂停中) 另外,在生 产条件 画面时,若在气 压 下降 状态按< S TART > 开关,则显示以下信息,不能 开 始生产。 图 2-11-8-2 气压 下降(生 产 条件画 面)

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2-11-7 打开安全盖
在生产动作中打开安全盖时,会显示以下信息,现在正在生产的基板被强制结束。
这是因为从生产途中的重启不能执行试胶。
图 2-11-7-1 打开安全盖(生产中)
另外,因为打开安全盖时不能正常点胶,在生产条件画面或暂停画面,若打开安全盖的状
态下按<START>开关,则显示以下信息,不能开始生产。
图 2-11-7-2 打开安全盖(生产条件画面、暂停中)

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2-11-8 气压下降
在生产动作中或暂停中检测到气压下降时,显示以下的画面,现在正在生产的基板被强制
结束。
图 2-11-8-1 气压下降(生产中、暂停中)
另外,在生产条件画面时,若在气压下降状态按<START>开关,则显示以下信息,不能开
始生产。
图 2-11-8-2 气压下降(生产条件画面)

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2-11-9 温调报警
在生产动作中检测到温调报警时,显示以下的画面,现在正在生产的基板被强制结束。
图 2-11-9-1 温调报警(生产中)
另外,在生产条件画面时,若在温调报警状态按<START>开关,则显示以下信息,不能开
始生产。
图 2-11-9-2 温调报警(生产条件画面、暂停中)