KD-2077_使用说明书 - 第169页
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 89 2-11-9 温调报警 在生 产动作中检测 到温调报警 时， 显示以下的 画面，现在正在 生产的基 板被强制结束。 图 2-11-9-1 温调报警 （生 产 中） 另外，在生 产 条件画面时，若在温调 报警状 态按＜ START ＞ 开关，则显示以下信息，不能 开 始生产。 图 2-11-9-2 温调报警 （生 产 条件画面、 暂停中）
第1部 基本篇 第2章 生产
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2-11-8 气压下降
在生产动作中或暂停中检测到气压下降时，显示以下的画面，现在正在生产的基板被强制
结束。
图 2-11-8-1 气压下降（生产中、暂停中）
另外，在生产条件画面时，若在气压下降状态按＜START＞开关，则显示以下信息，不能开
始生产。
图 2-11-8-2 气压下降（生产条件画面）
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2-11-9 温调报警
在生产动作中检测到温调报警时，显示以下的画面，现在正在生产的基板被强制结束。
图 2-11-9-1 温调报警（生产中）
另外，在生产条件画面时，若在温调报警状态按＜START＞开关，则显示以下信息，不能开
始生产。
图 2-11-9-2 温调报警（生产条件画面、暂停中）
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2-12 生产支援
在执行生产动作前，进行各种确认动作。
2-12-1 检查生产程序
开始生产前，进行生产程序的检查。
可参照生产程序检查项目一览表，显示检查结果。
开始生产前点击菜单栏的「生产支援」/「检查生产程序」后，显示检查生产程序画面。
图 2-12-1-1 生产程序确认