KD-2077_使用说明书 - 第170页
第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2 - 90 2-12 生产支援 在执行生产动作 前，进行 各种确认动作。 2-12-1 检查生产程序 开始生产前，进 行生产程 序的检查。 可参照生产程序 检查项目 一览表，显示检 查结果。 开始生产前点击 菜单栏的 「生产支援」 / 「检查生产程 序 」后，显示 检查生产 程序画面。 图 2-12-1-1 生产 程序确 认
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2-11-9 温调报警
在生产动作中检测到温调报警时，显示以下的画面，现在正在生产的基板被强制结束。
图 2-11-9-1 温调报警（生产中）
另外，在生产条件画面时，若在温调报警状态按＜START＞开关，则显示以下信息，不能开
始生产。
图 2-11-9-2 温调报警（生产条件画面、暂停中）
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2-12 生产支援
在执行生产动作前，进行各种确认动作。
2-12-1 检查生产程序
开始生产前，进行生产程序的检查。
可参照生产程序检查项目一览表，显示检查结果。
开始生产前点击菜单栏的「生产支援」/「检查生产程序」后，显示检查生产程序画面。
图 2-12-1-1 生产程序确认
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2-12-1-1 检查项目
在此显示检查项目的信息。
图 2-12-1-1-1 检查项目
No
项目
内容
1 No. 显示进行检查的顺序。
2 检查项目 显示检查项目的大致内容。
3 检查结果 显示检查的结果。
4 忽略 设定略过检查的项目。
2-12-1-2 执行生产程序检查
按下「进行检查」按钮，生产程序的检查将对略过检查项目以外的项目进行检查，其结果
反映在检查结果中。
然后，将在可否执行生产中显示能否进行生产。
动作
结果内容
显示内容
实行检查前 待定
实行检查后
有错误 错误
有警告 警告
如果改变条件能够生产 改变条件
无错误、警告 OK
此外，可对生产程序的每一序列(输入顺序、优化顺序)进行检查。