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维护 预防性维护 S 12 维护段位器光栅盘 2003 年 3 月版 94
预防性维护 S 维护
2003 年 3 月版 12 维护段位器光栅盘
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维护段位器光栅盘，需要下列工具和易耗品。 12
- 实验室手套
- 1.1 mm 的金属钻头
- 1.4 mm 的金属钻头
- 无纺布
- 脱脂棉签
- 无水乙醇
- Unisilkon L250L （部件号 00310259-01）
- 如有必要，使用 6x1 Viton 60 的 O 形圈 （部件号 00323535-02）
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切勿裸手拿段位器光栅盘或吸嘴。维护段位器光栅盘时戴上实验室手套。
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把段位器光栅盘放在提供的料盘中。 12
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① 检查切换圈能否轻松移动，并弹回来。
如果不能弹回来，将段位器光栅盘送到 SiemensDematic 进行修理。
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确保将钻头推到真空孔内并可转动，否则，会将脏物推入到段位器光栅盘中。
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② 顺时针转动长真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除脏物。
转动钻头，清除孔内的脏物。
③ 顺时针转动真空孔内的 1.1 mm 钻头，将脏物从横向真空孔中清除。
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12 维护段位器光栅盘 2003 年 3 月版
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① 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘摩擦轮。
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③ 用浸有无水乙醇的无纺布清洁增量盘。
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