JM-20使用说明书 - 第323页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-7 1) 请确认没有漏气 1 ）主机接通 电源后，请选择 「 手动控制 」项目，检查下列 各项目的动作 状况。 ① 基板挡块部 ② 夹杆 Y ③ AT C 单元 手动控制 「使用 说明书 第 9 章 手动控制」 在确认各项动作 、检查传感器的 开／关情况时 ，执行手动控制 模式。 2 ）如果动作 有问题，请参考 「 3-9 章 管 道系统图 」进行检查。 检查项目 3-2- 3 管道及接头 实施…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-6
1） 在压力表上确认压力为 –87kPa 以上。
确认供给真空压力时，点击画面左下角（蓝框）区域就可以显示当前真空压力。
2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。
请按照「3-8-1 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。
检查项目
3-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容
确认真空压力
单击可进行显示/不显示切换。
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-7
1) 请确认没有漏气
1）主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② 夹杆 Y
③ ATC 单元
手动控制 「使用说明书 第 9 章 手动控制」
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
2）如果动作有问题，请参考「3-9 章 管道系统图」进行检查。
检查项目
3-2-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-2-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容
检查各气缸的动作
检查漏气
＜左侧前侧＞
指状阀
在功能栏上选择「手动控制」
启动手动控制
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-8
1) 请目检确认 Head 单元正面部过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2）请确认真空校准没有问题。
真空校准
「使用说明书 11-2-6 真空校准」
在主画面上选择「维护」→「机器自动校准」，再执行「设置
组」→「真空校准」。
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 有脏污时，请更换新过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 前 后 4 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」，要插到底，用「固定螺丝②」固定好。
(安装扭矩:0.7N、m)
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-2-5 空气过滤器（LNC120 Head）
实施频度 ：每月
检查内容
检查空气过滤器脏污
更换
更换新的空气过滤器
使用工具 ：螺丝刀 更换标准： 6 个月
过滤器③ 货号：40046646
①
②
③
④
⑤
①
「使用说明书 8-4-2 无吸嘴状态下真空值」
从主画面实施「机器设置」→「无吸嘴状态
下的真空值」
无吸嘴状态下真空值